Ziel
Plasma nitridation of steel and coating with titanium nitride is essential for hardening and enhancing the life time of steel surfaces. However. both processes are hardly controllable due to lack of in-process monitoring techniques. A new sensor technology (Spectroscopic Ellipsometry- SE) will be investigated as process monitoring and ultimately as process (closed loop) control technique for the steel coating/hardening processes. This provides an opportunity for monitoring the physical desorption process, determining (online) the parameters of nitride concentration, roughness, layer "thickness" and void fraction, identify the nucleation processes, and in last consequence gives the possibility to control the process in a closed loop system. It is ultimately expected, that the quality level can be increased about 10%. Single wavelength ellipsometry has been used on an industrial scale since a decade in the semiconductor area. For silicon/silicondioxide, or other semiconductors, there exist well established data; however for metals difficulties are present not known for "atomically plane" semiconductors. Research is required in order to tackle the difficulties connected to applying SE to polycrystalline and "rough" - steel surfaces and b) to a new process (plasma deposition). The R&D goals which need to be achieved are:- - to measure ex-process rough surfaces of steel and alloys. - to determine if the dielectric functions of steel, titanium nitride, and FexNy are different enough in a spectral region between 50 meV and 6 eV to distinguish the interfacial layers and the substrates. - to develop models for fitting the SE spectra in order to determine the wanted parameters thickness, void fraction, alloy composition and roughness. - to identify and overcome the difficulties for in-process measurements: use of strain free windows, effects of plasma lightning, weak signal/noise ratio, deposition at elevated temperature-s etc..
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
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- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften anorganische Chemie Übergangsmetalle
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Plasmaphysik
- Technik und Technologie Werkstofftechnik Beschichtung
- Technik und Technologie Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik Elektrotechnik Sensoren
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Halbleiterbauelement
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
4600 WELS
Österreich
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.