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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
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Contenido archivado el 2024-05-21

Online monitoring and in situ control of epitaxy metal organic chemical vapor deposition - isce-mocvd -

Objetivo

Metal organic Chemical Vapour deposition (MOCVD) is a key manufacturing process for microelectronic and optic-electronic devices. However, in a MOCVD production process the deposition process is not monitorable, nor due to a lack of in-process mononitoring closed loop controllable. We focus on in site monitoring of the MOCVD process for the two material systems, which are the industrially most requested: alternary and quaternary {al , ga , in} -{as , p sb} semi conductors for optical communication applications and b) on gallium nitride (GAN) and related materials, which have promising applications for blue laser diodes, high power microwave semi conductor devices ect. This project aims on using, improving, combining and developing real time monitoring techniques and closed loop feedback control of epitaxial growth, where the sensors in site used are purely optical ones, compatible with different industrially used MOCVD growth systems.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

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Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

Datos no disponibles

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinador

AIXTRON AG
Aportación de la UE
Sin datos
Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

Sin datos

Participantes (8)

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