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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-05-21

Online monitoring and in situ control of epitaxy metal organic chemical vapor deposition - isce-mocvd -

Ziel

Metal organic Chemical Vapour deposition (MOCVD) is a key manufacturing process for microelectronic and optic-electronic devices. However, in a MOCVD production process the deposition process is not monitorable, nor due to a lack of in-process mononitoring closed loop controllable. We focus on in site monitoring of the MOCVD process for the two material systems, which are the industrially most requested: alternary and quaternary {al , ga , in} -{as , p sb} semi conductors for optical communication applications and b) on gallium nitride (GAN) and related materials, which have promising applications for blue laser diodes, high power microwave semi conductor devices ect. This project aims on using, improving, combining and developing real time monitoring techniques and closed loop feedback control of epitaxial growth, where the sensors in site used are purely optical ones, compatible with different industrially used MOCVD growth systems.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

CSC - Cost-sharing contracts

Koordinator

AIXTRON AG
EU-Beitrag
Keine Daten
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (8)

Mein Booklet 0 0