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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
CORDIS
Contenu archivé le 2024-04-30

Functional thin oxide films obtained by new MOCVD techniques

Objectif


Foreseen Results

The aim of the present project is to use the knowledge and the high level of technicity available from the different partners as well in chemistry, CVD processes and material science for the development of emerging materials.

The final goal of the present project is to develop MOCVD processes for film elaboration of advanced materials, giving rise to innovative, cost effective integrated layers for several applications. New methods of precursor feeding will be developed to increase evaporation rates and have a better control on stoichiometry and growth. Subsequent reactor development will integrate optimization studies on single cristalline substrates for technological applications.

It should be emphasized that this project aims to provide a firm basis for future process developments on oxide layers where, for large scale uses, MOCVD can considerably minimize the cost/quality ratio.
The aim of the present project is to develop MOCVD processes giving rise to innovative, cost effective integrated thin films for dielectric, ferroelectric, magnetic and gas sensor, or superconducting applications.
Materials to be studied belong to the main family of perovskite like oxide layers (e.g. BaTiO3, SrTiO3, PbTiO3, YBa2Cu307, La-Ba-Mn-O. . .) and to related oxides (CeO2, YSZ..) where solid solutions or subtil changes in composition and control of microstructure allow to tailor the physical property desired.

Furthermore, these oxides are excellent candidates as buffer layers for further HTSC film deposition from a microstructural point of view. The development of multipurpose structures will therefore be the final goal of this project integrating systems based on smart materials, microelectronic and superconducting technologies.

New MOCVD related methods, based on aerosol or droplet injection, which have been recently developed, will be employed to produce either amorphous, polycrystalline or epitaxial films because of their potentiality regarding morphology control during film growth, precise control over stoichiometry and layer thickness.

The correspondence between microstructural and physical properties of these films will be established and their significant properties will be optimized.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

Données non disponibles

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinateur

INSTITUT NATIONAL POLYTECHNIQUE DE GRENOBLE
Contribution de l’UE
Aucune donnée
Adresse
Domaine Universitaire
38402 Saint-Martin-d'Hères
France

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Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

Aucune donnée

Participants (5)

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