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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-04-30

Functional thin oxide films obtained by new MOCVD techniques

Ziel


Foreseen Results

The aim of the present project is to use the knowledge and the high level of technicity available from the different partners as well in chemistry, CVD processes and material science for the development of emerging materials.

The final goal of the present project is to develop MOCVD processes for film elaboration of advanced materials, giving rise to innovative, cost effective integrated layers for several applications. New methods of precursor feeding will be developed to increase evaporation rates and have a better control on stoichiometry and growth. Subsequent reactor development will integrate optimization studies on single cristalline substrates for technological applications.

It should be emphasized that this project aims to provide a firm basis for future process developments on oxide layers where, for large scale uses, MOCVD can considerably minimize the cost/quality ratio.
The aim of the present project is to develop MOCVD processes giving rise to innovative, cost effective integrated thin films for dielectric, ferroelectric, magnetic and gas sensor, or superconducting applications.
Materials to be studied belong to the main family of perovskite like oxide layers (e.g. BaTiO3, SrTiO3, PbTiO3, YBa2Cu307, La-Ba-Mn-O. . .) and to related oxides (CeO2, YSZ..) where solid solutions or subtil changes in composition and control of microstructure allow to tailor the physical property desired.

Furthermore, these oxides are excellent candidates as buffer layers for further HTSC film deposition from a microstructural point of view. The development of multipurpose structures will therefore be the final goal of this project integrating systems based on smart materials, microelectronic and superconducting technologies.

New MOCVD related methods, based on aerosol or droplet injection, which have been recently developed, will be employed to produce either amorphous, polycrystalline or epitaxial films because of their potentiality regarding morphology control during film growth, precise control over stoichiometry and layer thickness.

The correspondence between microstructural and physical properties of these films will be established and their significant properties will be optimized.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

CSC - Cost-sharing contracts

Koordinator

INSTITUT NATIONAL POLYTECHNIQUE DE GRENOBLE
EU-Beitrag
Keine Daten
Adresse
Domaine Universitaire
38402 Saint-Martin-d'Hères
Frankreich

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Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (5)

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