Objetivo
The objective of the project is twofold:
i) to develop and;
ii) to assess the potential for nanoimprint technology for the coming semiconductor fabrication requirements in the sub-10 nm domain. We intend to meet the objective by exploring NanoImprint Lithography (NIL) for making individual structures on the sub-10 nm level as well as explore the possibility for making imprint over large areas (up to 6'' wafers). We realize that for large areas we need to relax specifications and expand today's individual sub-100 nm level into the large area domain in order to reach results within a three-year perspective. However, the results obtained on the individual 10 nm level will then be transferable to the large area domain. A result we expect a nanofabrication technique with capabilities for mass production aiming towards the sub-10 nm domain, with a clear identification of its potential. Furthermore, nano-imprint technology will be an important contribution to ensure a strong competitive position for the EU in the key emerging technologies for information processing circuits.
OBJECTIVES
The objectives of the project are:
i) to develop and;
ii)to assess the potential for nanoimprint technology for the coming semiconductor fabrication requirements in the sub-10 nm domain.
This will be realized by exploring:
I) NIL for making individual structures on the sub-10 nm level as well as exploring;
II) the possibility for making imprint over large areas (up to 6'' wafers).
The impact of nanoimprint technology, if succesfully transferred to industry, would be huge. Application areas would include e.g. storage technologies (optical, magnetic etc), micro/nano-electronics and bio-sensor devices and would make strong impact onto every-day life.
DESCRIPTION OF WORK
Nanoimprint lithography (NIL) has the potential to revolutionize the production of nm-scale devices and integrated circuits. Future high volume data storage and high-speed data processing will require reliable large area patterning technologies for fabrication of nano-scaled structures. Present lithography for sub-100 nm structures (e-beam, X-ray, ion projection) suffers form severe drawbacks for volume production, limited throughput or expensive equipment using the same tools developed for the large area sub-100 nm NIL. This workprogramme is a direct continuation of the project NANOTECH.
It has combined aims of:
a) to explore the potential of nanoimprint and pattern transfer at the sub - 10 nm domain;
b) to address large area NIL;
c) to investigate mix&match technology;
d) to develop concepts for stamp replication;
e) to optimise NIL polymer materials;
f) to develop measures for quality control, and;
g) to investigate the influence of NIL-processing onto the substrates electrical and optical properties.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información ingeniería electrónica sensores biosensores
- ciencias naturales ciencias químicas ciencia de polímeros
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales informática y ciencias de la información ciencia de datos tratamiento de datos
- ingeniería y tecnología nanotecnología nanoelectrónica
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Palabras clave
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
221 00 LUND
Suecia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.