Objectif
The objective of the SEA project NOW is to assess a new semiconductor process equipment for resists and organic residues removal, up to production mode for front-end processes and in development mode for back end processes. This equipment will run a new process based on Ozone chemistry in a water moisture environment on 200mm wafers in a 50 wafers batch configuration. This process aims at the suppression of SPM/ SOM sulfuric acid based processes as well as the suppression of some specific chemicals used for organic residues removal, by contrast to standard industrial processes (SPM/ SOM) known to generate large chemical, water, distribution and waste treatment costs. The project will also address the Tool Installation and optimisation, Factory Acceptance Test and verification of Final specification Target. It will produce a Cost of Ownership of the process developed in the project as well as a benchmarking of the tool and processes versus competition.
Work description:
This 15 months Semiconductor Equipment Assessment NOW will cover MATTSON WET PRODUCTS GmbH Equipment Installation and optimisation, Tool Factory acceptance as well as production of Tool Final Specifications. It will address as a key objective FEOL (Front End Of Line) resist stripping and organic residues removal applications and as soon tool and processes have been demonstrated as being industrially mature, BEOL (Back End Of Line) applications. Project will encompass CoO (Cost of Ownership) calculations for tools and process steps in the scope of the project. This tool will be assessed for different layers (silicium, nitride, low K dielectrics, Copper), for different resist types after both ion implantation and etching, with different ion implantation dosage and energy.
Process data will be produced on residues and contamination removal capability, with the strong support of industrial and laboratory physical + chemical characterization, and with electrical defectivity/ yield measurement analysis on production wafers. Industrial characterisation of results will be performed in ATMEL, ALTIS, LETI. Metallic, organic, surface characterisations will be performed in ALTIS, LETI. FEOL tool will be installed and assessed in ATMEL Rousset production fabrication line (ATMEL FAB7), BEOL tool will be installed and assessed in IMEC. BEOL tool specific costs are not asked to the Commission to be financed
Milestones:
-Tool and its facilities optimisation, complete safety vs. Ozone hazards, DIW waste reclaim. Production of Factory and Site Acceptance as well as Final specifications;
- Development and implementation to FEOL processes in production;
- Process Development on BEOL processes;
- Characterization of metallic and organic contaminants, surface roughness of this technique on FEOL and BEOL processes;
-Cost of Ownership of the process developed in the project as well as benchmark of the tool+ processes versus competition.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- ingénierie et technologie génie de l'environnement gestion des déchets procédés de traitement des déchets
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
13790 ROUSSET
France
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.