Ziel
The objective of the SEA project NOW is to assess a new semiconductor process equipment for resists and organic residues removal, up to production mode for front-end processes and in development mode for back end processes. This equipment will run a new process based on Ozone chemistry in a water moisture environment on 200mm wafers in a 50 wafers batch configuration. This process aims at the suppression of SPM/ SOM sulfuric acid based processes as well as the suppression of some specific chemicals used for organic residues removal, by contrast to standard industrial processes (SPM/ SOM) known to generate large chemical, water, distribution and waste treatment costs. The project will also address the Tool Installation and optimisation, Factory Acceptance Test and verification of Final specification Target. It will produce a Cost of Ownership of the process developed in the project as well as a benchmarking of the tool and processes versus competition.
Work description:
This 15 months Semiconductor Equipment Assessment NOW will cover MATTSON WET PRODUCTS GmbH Equipment Installation and optimisation, Tool Factory acceptance as well as production of Tool Final Specifications. It will address as a key objective FEOL (Front End Of Line) resist stripping and organic residues removal applications and as soon tool and processes have been demonstrated as being industrially mature, BEOL (Back End Of Line) applications. Project will encompass CoO (Cost of Ownership) calculations for tools and process steps in the scope of the project. This tool will be assessed for different layers (silicium, nitride, low K dielectrics, Copper), for different resist types after both ion implantation and etching, with different ion implantation dosage and energy.
Process data will be produced on residues and contamination removal capability, with the strong support of industrial and laboratory physical + chemical characterization, and with electrical defectivity/ yield measurement analysis on production wafers. Industrial characterisation of results will be performed in ATMEL, ALTIS, LETI. Metallic, organic, surface characterisations will be performed in ALTIS, LETI. FEOL tool will be installed and assessed in ATMEL Rousset production fabrication line (ATMEL FAB7), BEOL tool will be installed and assessed in IMEC. BEOL tool specific costs are not asked to the Commission to be financed
Milestones:
-Tool and its facilities optimisation, complete safety vs. Ozone hazards, DIW waste reclaim. Production of Factory and Site Acceptance as well as Final specifications;
- Development and implementation to FEOL processes in production;
- Process Development on BEOL processes;
- Characterization of metallic and organic contaminants, surface roughness of this technique on FEOL and BEOL processes;
-Cost of Ownership of the process developed in the project as well as benchmark of the tool+ processes versus competition.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Halbleiterbauelement
- Technik und Technologie Umwelttechnik Abfallwirtschaft Abfallbehandlungsverfahren
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
13790 ROUSSET
Frankreich
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.