Objectif
The project aims to develop next generation capacitive MEMS components for precision applications. The industries directly targeted are MEMS sensor industry and test & measurement industry. In addition to generic MEMS process technology suitable to any capacitive sensor fabrication, the project intends to develop prototype components for high precision dc, low frequency and rf/microwave voltage and field measurements.
OBJECTIVES
The project will open new application fields for the microsystem technology by improving the electromechanical stability of micromechanical capacitive transducers that are generic building blocks of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS).
The specific objectives are:
1) To develop MEMS sensor technology for precision applications by improving the electromechanical stability of micromechanical capacitive transducers;
2) To apply the technology in new types of electrical references for dc, low-frequency and high-frequency test and measurement applications;
3) To analyse the potential of developed components and solutions in existing and novel industrial products and applications.
DESCRIPTION OF WORK
- Definition of target specifications for processes and components;
-Definition of process requirements;
- Analysis of instability components of present MEMS technology;
- Development of MEMS process technology with improved properties for low frequency and high frequency applications. Design and fabrication of the new dc, low-frequency and high-frequency components (2 generations).
Characterisation of the properties of the components using high-precision measurements. Exploitation plan for the process and component technology.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie électronique capteurs
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
02044 ESPOO
Finlande
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.