Obiettivo
The project aims to develop next generation capacitive MEMS components for precision applications. The industries directly targeted are MEMS sensor industry and test & measurement industry. In addition to generic MEMS process technology suitable to any capacitive sensor fabrication, the project intends to develop prototype components for high precision dc, low frequency and rf/microwave voltage and field measurements.
OBJECTIVES
The project will open new application fields for the microsystem technology by improving the electromechanical stability of micromechanical capacitive transducers that are generic building blocks of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS).
The specific objectives are:
1) To develop MEMS sensor technology for precision applications by improving the electromechanical stability of micromechanical capacitive transducers;
2) To apply the technology in new types of electrical references for dc, low-frequency and high-frequency test and measurement applications;
3) To analyse the potential of developed components and solutions in existing and novel industrial products and applications.
DESCRIPTION OF WORK
- Definition of target specifications for processes and components;
-Definition of process requirements;
- Analysis of instability components of present MEMS technology;
- Development of MEMS process technology with improved properties for low frequency and high frequency applications. Design and fabrication of the new dc, low-frequency and high-frequency components (2 generations).
Characterisation of the properties of the components using high-precision measurements. Exploitation plan for the process and component technology.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- ingegneria e tecnologia ingegneria elettrica, ingegneria elettronica, ingegneria informatica ingegneria elettronica sensori
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Dati non disponibili
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Coordinatore
02044 ESPOO
Finlandia
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.