Development of a photomask linewidth standard

Información del proyecto

Identificador del acuerdo de subvención: MTR176

Fecha de inicio

Fecha de finalización

Financiado con arreglo a

• Research and development programme (EEC) in the field of applied metrology and chemical analysis (Community Bureau of Reference - BCR), 1988-1992

Coste total

Sin datos

Aportación de la UE

€ 1 241 873,00

Coordinado por

National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom

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Publicaciones

Other (1)

The BCR sub-micrometre photomask linewidth standard CRM 676

Autores: NUNN J (National Physics Laboratory, Teddington (GB)), MIRANDE W (Physicalisch-Technische Bundesanstalt, Braunchweig (DE)), TALENE N (Du Pont Photomasks, Rousset (FR)), SALIERI P (CEC Bruxelles (BE))
Publicado en: EUR 18201 EN (1998) 54pp., free of charge, 1998, Página(s) 54, ISBN 92-828-3078-0