Development of a photomask linewidth standard

Informazioni relative al progetto

ID dell’accordo di sovvenzione: MTR176

Data di avvio

Data di completamento

Finanziato da

• Research and development programme (EEC) in the field of applied metrology and chemical analysis (Community Bureau of Reference - BCR), 1988-1992

Costo totale € 0,00

Contributo UE € 1 241 873,00

Coordinato da

National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom

Pubblicazioni

Other (1)

The BCR sub-micrometre photomask linewidth standard CRM 676

Autori: NUNN J (National Physics Laboratory, Teddington (GB)), MIRANDE W (Physicalisch-Technische Bundesanstalt, Braunchweig (DE)), TALENE N (Du Pont Photomasks, Rousset (FR)), SALIERI P (CEC Bruxelles (BE))
Pubblicato in: EUR 18201 EN (1998) 54pp., free of charge, 1998, Pagina/e 54, ISBN 92-828-3078-0