Development of a photomask linewidth standard

Informacje na temat projektu

Identyfikator umowy o grant: MTR176

Data rozpoczęcia

Data zakończenia

Finansowanie w ramach

• Research and development programme (EEC) in the field of applied metrology and chemical analysis (Community Bureau of Reference - BCR), 1988-1992

Koszt całkowity

Brak danych

Wkład UE

€ 1 241 873,00

Koordynowany przez

National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom

CORDIS oferuje możliwość skorzystania z odnośników do publicznie dostępnych publikacji i rezultatów projektów realizowanych w ramach programów ramowych HORYZONT.

Odnośniki do rezultatów i publikacji związanych z poszczególnymi projektami 7PR, a także odnośniki do niektórych konkretnych kategorii wyników, takich jak zbiory danych i oprogramowanie, są dynamicznie pobierane z systemu OpenAIRE .

Publikacje

Other (1)

The BCR sub-micrometre photomask linewidth standard CRM 676

Autorzy: NUNN J (National Physics Laboratory, Teddington (GB)), MIRANDE W (Physicalisch-Technische Bundesanstalt, Braunchweig (DE)), TALENE N (Du Pont Photomasks, Rousset (FR)), SALIERI P (CEC Bruxelles (BE))
Opublikowane w: EUR 18201 EN (1998) 54pp., free of charge, 1998, Strona(/y) 54, ISBN 92-828-3078-0