Ziel
Optical lithography in integrated circuit fabrication presently consists of about 20 successive mask steps. Up to now no calibrated two dimensional photomask position standard (2DPPS) traceable to the SI unit of length exists; metrological institutes can supply only one dimensional line scale calibrated with sufficient accuracy.
A two dimensional standard mask is a necessary tool to examine the dimensional tolerances of successive production steps, in order to ensure the quality of instruments (eg pattern generators, wafer measuring machines, wafer steppers, mask measuring machines) and to avoid commercial disputes.
The aim of the project is to produce for industrial calibration purposes a 7" calibrated 2DPPS accurate and certified to 50 nm, thus meeting the requirements of lithography for the 0.3 um geometries (64 Mbit DRAM, 80 nm overlay accuracy). This standard will later be made available as a calibration reference to the semiconductor and equipment industry. The project will also investigate the instrumentation and the substrate requirements necessary to achieve a future 10" calibrated 2DPPS.
Status:
The work is in progress.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht.
- NaturwissenschaftenNaturwissenschaftenElektromagnetismus und ElektronikHalbleiterbauelement
- NaturwissenschaftenMathematikreine MathematikGeometrie
Sie müssen sich anmelden oder registrieren, um diese Funktion zu nutzen
Programm/Programme
Thema/Themen
Data not availableAufforderung zur Vorschlagseinreichung
Data not availableFinanzierungsplan
CSC - Cost-sharing contractsKoordinator
BRAUNSCHWEIG
Deutschland