OXYGEN IN SEMICONDUCTOR SILICON

Informations projet

N° de convention de subvention: RM189

Date de début

Date de fin

Financé au titre de

• Research and development programme (EEC) in the field of applied metrology and chemical analysis (Community Bureau of Reference - BCR), 1988-1992

Coût total € 0,00

Contribution de l’UE € 240 000,00

Coordonné par

United Kingdom Atomic Energy Authority (UKAEA)
United Kingdom

Objectif

The oxygen content of silicon is an important parameter for the manufacturing of integrated circuits and other electronic devices. The measurements are based on infrared absorption spectrometry. Results of infrared absorption measurement often differ by several percent between different laboratories. Industry has therefore requested the BCR programme to produce silicon reference materials (zero specimens needed in the measurements as well as samples to check infrared spectrometers).

RESULTS

Intercomparisons have been organized to improve the measurements of the actual oxygen content and of the infrared absorption.
Two reference materials have been certified.
CRM 368: silicon with very low 0 content, to be used as "zero"
specimens: 69 +/- 19 ng/g
Certification report: EUR 12927 (1990)
CRM 369: silicon with 0 contents in the range of industrial interest, for testing the accuracy (photometry + software) or the IR Instruments:
absorption coefficients in the range 2.2 - 3.8 cm{-1}
oxygen contents in the range 8 - 13 ug/g
Certification report : EUR 12928 (1991)

Champ scientifique

• natural sciences › computer and information sciences › software
• natural sciences › physical sciences › electromagnetism and electronics › semiconductivity
• natural sciences › chemical sciences › inorganic chemistry › metalloids

Programme(s)

• FP2-BCR 4 - Research and development programme (EEC) in the field of applied metrology and chemical analysis (Community Bureau of Reference - BCR), 1988-1992

Thème(s)

Data not available

Appel à propositions

Data not available

Régime de financement

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinateur

United Kingdom Atomic Energy Authority (UKAEA)

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Harwell Laboratory ; OX11 0RA Didcot ; Royaume-Uni
• Coût total: Aucune donnée

Participants (16)

Centre d'Etudes et de Recherches par Irradiation

France

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Orleans
• Coût total: Aucune donnée

Dynamit Nobel Silicon

Italie

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: 28100 Novara
• Coût total: Aucune donnée

ECOLE NORMALE SUPÉRIEURE

France

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: PARIS
• Coût total: Aucune donnée

FEDERAL INSTITUTE FOR MATERIAL RESEARCH AND TESTING

Allemagne

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: 87,Unter der Eichen 87 ; 12205 BERLIN
• Coût total: Aucune donnée

Imperial College of Science, Technology and Medicine

Royaume-Uni

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: SW7 2AZ London
• Coût total: Aucune donnée

Instituut voor Nucleaire Wetenschappen (RUG)

Belgique

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Gent
• Coût total: Aucune donnée

Johann-Wolfgang-Goethe-Universität Frankfurt

Allemagne

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: August Euler Straße 6 ; 60486 Frankfurt am Main
• Coût total: Aucune donnée

Joint Research Centre

Belgique

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Geel
• Coût total: Aucune donnée

Laboratorium voor Kristallografie en Studie van de Vaste Stof (RUG)

Belgique

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Gent
• Coût total: Aucune donnée

Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften eV

Allemagne

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Bunsen-Kirchhoff-Straße 13 ; 44139 Dortmund
• Coût total: Aucune donnée

Philips Components

Royaume-Uni

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: SO Southampton
• Coût total: Aucune donnée

Royal Signals and Radar Establishment

Royaume-Uni

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Great Malvern
• Coût total: Aucune donnée

Siemens AG

Allemagne

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Otto-Hahn-Ring 6 ; 81739 München
• Coût total: Aucune donnée

Telefunken Microelectronic GmbH

Allemagne

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Theresienstraße 2 ; 74072 Heilbronn
• Coût total: Aucune donnée

UNIVERSITY OF READING

Royaume-Uni

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Whiteknigts ; RG6 6AF READING / SILCHESTER
• Coût total: Aucune donnée

Wacker Chemitronic

Allemagne

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Johannes-Hess-Straße 24 ; 84489 Burghausen
• Coût total: Aucune donnée