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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
CORDIS
Contenu archivé le 2024-04-16

OXYGEN IN SEMICONDUCTOR SILICON

Objectif



The oxygen content of silicon is an important parameter for the manufacturing of integrated circuits and other electronic devices. The measurements are based on infrared absorption spectrometry. Results of infrared absorption measurement often differ by several percent between different laboratories. Industry has therefore requested the BCR programme to produce silicon reference materials (zero specimens needed in the measurements as well as samples to check infrared spectrometers).

RESULTS

Intercomparisons have been organized to improve the measurements of the actual oxygen content and of the infrared absorption.
Two reference materials have been certified.
CRM 368: silicon with very low 0 content, to be used as "zero"
specimens: 69 +/- 19 ng/g
Certification report: EUR 12927 (1990)
CRM 369: silicon with 0 contents in the range of industrial interest, for testing the accuracy (photometry + software) or the IR Instruments:
absorption coefficients in the range 2.2 - 3.8 cm{-1}
oxygen contents in the range 8 - 13 ug/g
Certification report : EUR 12928 (1991)

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Données non disponibles

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

Données non disponibles

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinateur

United Kingdom Atomic Energy Authority (UKAEA)
Contribution de l’UE
Aucune donnée
Adresse
Harwell Laboratory
OX11 0RA Didcot
Royaume-Uni

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Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

Aucune donnée

Participants (16)

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