Ziel
The oxygen content of silicon is an important parameter for the manufacturing of integrated circuits and other electronic devices. The measurements are based on infrared absorption spectrometry. Results of infrared absorption measurement often differ by several percent between different laboratories. Industry has therefore requested the BCR programme to produce silicon reference materials (zero specimens needed in the measurements as well as samples to check infrared spectrometers).
RESULTS
Intercomparisons have been organized to improve the measurements of the actual oxygen content and of the infrared absorption.
Two reference materials have been certified.
CRM 368: silicon with very low 0 content, to be used as "zero"
specimens: 69 +/- 19 ng/g
Certification report: EUR 12927 (1990)
CRM 369: silicon with 0 contents in the range of industrial interest, for testing the accuracy (photometry + software) or the IR Instruments:
absorption coefficients in the range 2.2 - 3.8 cm{-1}
oxygen contents in the range 8 - 13 ug/g
Certification report : EUR 12928 (1991)
Wissenschaftliches Gebiet
Programm/Programme
Thema/Themen
Data not availableAufforderung zur Vorschlagseinreichung
Data not availableFinanzierungsplan
CSC - Cost-sharing contractsKoordinator
OX11 0RA Didcot
Vereinigtes Königreich
Auf der Karte ansehen
Beteiligte (16)
Orleans
Auf der Karte ansehen
28100 Novara
Auf der Karte ansehen
PARIS
Auf der Karte ansehen
12205 BERLIN
Auf der Karte ansehen
SW7 2AZ London
Auf der Karte ansehen
Gent
Auf der Karte ansehen
60486 Frankfurt am Main
Auf der Karte ansehen
Geel
Auf der Karte ansehen
Gent
Auf der Karte ansehen
44139 Dortmund
Auf der Karte ansehen
SO Southampton
Auf der Karte ansehen
Great Malvern
Auf der Karte ansehen
81739 München
Auf der Karte ansehen
74072 Heilbronn
Auf der Karte ansehen
RG6 6AF READING / SILCHESTER
Auf der Karte ansehen
84489 Burghausen
Auf der Karte ansehen