OXYGEN IN SEMICONDUCTOR SILICON

Información del proyecto

Identificador del acuerdo de subvención: RM189

Fecha de inicio

Fecha de finalización

Financiado con arreglo a

• Research and development programme (EEC) in the field of applied metrology and chemical analysis (Community Bureau of Reference - BCR), 1988-1992

Coste total € 0,00

Aportación de la UE € 240 000,00

Coordinado por

United Kingdom Atomic Energy Authority (UKAEA)
United Kingdom

Objetivo

The oxygen content of silicon is an important parameter for the manufacturing of integrated circuits and other electronic devices. The measurements are based on infrared absorption spectrometry. Results of infrared absorption measurement often differ by several percent between different laboratories. Industry has therefore requested the BCR programme to produce silicon reference materials (zero specimens needed in the measurements as well as samples to check infrared spectrometers).

RESULTS

Intercomparisons have been organized to improve the measurements of the actual oxygen content and of the infrared absorption.
Two reference materials have been certified.
CRM 368: silicon with very low 0 content, to be used as "zero"
specimens: 69 +/- 19 ng/g
Certification report: EUR 12927 (1990)
CRM 369: silicon with 0 contents in the range of industrial interest, for testing the accuracy (photometry + software) or the IR Instruments:
absorption coefficients in the range 2.2 - 3.8 cm{-1}
oxygen contents in the range 8 - 13 ug/g
Certification report : EUR 12928 (1991)

Ámbito científico

• natural sciences › computer and information sciences › software
• natural sciences › physical sciences › electromagnetism and electronics › semiconductivity
• natural sciences › chemical sciences › inorganic chemistry › metalloids

Programa(s)

• FP2-BCR 4 - Research and development programme (EEC) in the field of applied metrology and chemical analysis (Community Bureau of Reference - BCR), 1988-1992

Tema(s)

Data not available

Convocatoria de propuestas

Data not available

Régimen de financiación

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinador

United Kingdom Atomic Energy Authority (UKAEA)

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Harwell Laboratory ; OX11 0RA Didcot ; Reino Unido
• Coste total: Sin datos

Participantes (16)

Centre d'Etudes et de Recherches par Irradiation

Francia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Orleans
• Coste total: Sin datos

Dynamit Nobel Silicon

Italia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: 28100 Novara
• Coste total: Sin datos

ECOLE NORMALE SUPÉRIEURE

Francia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: PARIS
• Coste total: Sin datos

FEDERAL INSTITUTE FOR MATERIAL RESEARCH AND TESTING

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: 87,Unter der Eichen 87 ; 12205 BERLIN
• Coste total: Sin datos

Imperial College of Science, Technology and Medicine

Reino Unido

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: SW7 2AZ London
• Coste total: Sin datos

Instituut voor Nucleaire Wetenschappen (RUG)

Bélgica

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Gent
• Coste total: Sin datos

Johann-Wolfgang-Goethe-Universität Frankfurt

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: August Euler Straße 6 ; 60486 Frankfurt am Main
• Coste total: Sin datos

Joint Research Centre

Bélgica

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Geel
• Coste total: Sin datos

Laboratorium voor Kristallografie en Studie van de Vaste Stof (RUG)

Bélgica

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Gent
• Coste total: Sin datos

Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften eV

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Bunsen-Kirchhoff-Straße 13 ; 44139 Dortmund
• Coste total: Sin datos

Philips Components

Reino Unido

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: SO Southampton
• Coste total: Sin datos

Royal Signals and Radar Establishment

Reino Unido

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Great Malvern
• Coste total: Sin datos

Siemens AG

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Otto-Hahn-Ring 6 ; 81739 München
• Coste total: Sin datos

Telefunken Microelectronic GmbH

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Theresienstraße 2 ; 74072 Heilbronn
• Coste total: Sin datos

UNIVERSITY OF READING

Reino Unido

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Whiteknigts ; RG6 6AF READING / SILCHESTER
• Coste total: Sin datos

Wacker Chemitronic

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Johannes-Hess-Straße 24 ; 84489 Burghausen
• Coste total: Sin datos