Objetivo
The main objective of this work was to develop and characterise high flux thermal energy beam sources of reactive atoms of scientific and technological interest. Atom beam sources of atomic hydrogen, oxygen, nitrogen and the halogens have been studied.
Measurements were concentrated on 3 types of source:
a 2.45 GHz microwave extended quarter wave cavity source;
a Slevin type radio frequency source;
a specially developed 2.45 GHz discharge source using a Lisitano coil to achieve the necessary power matching.
Diagnostics based on mass spectrometry and optimal spectroscopy have been used to characterise source performance in terms of measured dissociation fraction, beam density, source operating pressure and input power. The influences of different source cleaning procedures and of gas purity have also been investigated. Considerable effort has also gone into exploring the influence of types of glass or quartz used for discharge tube fabrication and the effect of cooling and extraction geometry.
A number of studies of specific collision processes involving hydrogen atoms, produced from the studied sources, have been carried out.
This project will be directed towards the development and characterisation of RF and microwave beam sources that are capable of producing higly dissociated beams of well defined H, D, O, N and halogen atoms over a wide range of beam density. Mass spectrometric and optical spectrometric techniques will be used to determine dissociation fractions beam profiles and identify metastable components.
Atom beam sources find application (1) in the investigation of fundamental atomic properties and (2) in the preparation and etching of semiconductor surfaces.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica halógenos
- ciencias naturales matemáticas matemáticas puras geometría
- ciencias naturales ciencias químicas química analítica espectrometría de masas
- ciencias naturales ciencias físicas óptica espectroscopia
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
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Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Datos no disponibles
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
BT7 1NN Belfast
Reino Unido
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.