Objectif
The main objective of this work was to develop and characterise high flux thermal energy beam sources of reactive atoms of scientific and technological interest. Atom beam sources of atomic hydrogen, oxygen, nitrogen and the halogens have been studied.
Measurements were concentrated on 3 types of source:
a 2.45 GHz microwave extended quarter wave cavity source;
a Slevin type radio frequency source;
a specially developed 2.45 GHz discharge source using a Lisitano coil to achieve the necessary power matching.
Diagnostics based on mass spectrometry and optimal spectroscopy have been used to characterise source performance in terms of measured dissociation fraction, beam density, source operating pressure and input power. The influences of different source cleaning procedures and of gas purity have also been investigated. Considerable effort has also gone into exploring the influence of types of glass or quartz used for discharge tube fabrication and the effect of cooling and extraction geometry.
A number of studies of specific collision processes involving hydrogen atoms, produced from the studied sources, have been carried out.
This project will be directed towards the development and characterisation of RF and microwave beam sources that are capable of producing higly dissociated beams of well defined H, D, O, N and halogen atoms over a wide range of beam density. Mass spectrometric and optical spectrometric techniques will be used to determine dissociation fractions beam profiles and identify metastable components.
Atom beam sources find application (1) in the investigation of fundamental atomic properties and (2) in the preparation and etching of semiconductor surfaces.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique halogène
- sciences naturelles mathématiques mathématiques pures géométrie
- sciences naturelles sciences chimiques chimie analytique spectrométrie de masse
- sciences naturelles sciences physiques optique spectroscopie
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
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Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
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Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
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Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
BT7 1NN Belfast
Royaume-Uni
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.