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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
CORDIS
Contenu archivé le 2024-04-30

New developments in optical spectroscopy for the chararacterisation of semi-conductor devices

Objectif



The aim of this project is to develop a new instrumentation based on Raman or luminescence spectroscopy in order to provide the microelectronics industry (highly integrated silicon technology and high-power electronics or opto-electronics) with an advanced non-destructive characterization; tool. A generic methodology for the characterization of devices in production environment using the pronosed instrumentation will be established. We will demonstrate the validity of this approach on :
* The measurement of local operating temperatures on high power electronic (microwave transistors) and optical (laser diodes) GaAs devices fabricated at Thomson-CSF and Daimler-Benz.
* The measurement of local stress in sub-micron Si devices fabricated at IMEC.
The project is governed by three objectives :
* The different techniques available necessary to completely characterize the device (operating parameters, materials characterization) will be associated in a single instrument.
* Ultimate performances of the instrument in terms of spatial resolution and adaptation to the real problems will be evaluated.
* A complete methodology for analysis will be developped.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

Données non disponibles

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinateur

Développement Instrumental en Liaison avec les Organismes de Recherche
Contribution de l’UE
Aucune donnée
Adresse
Rue des Bois Blancs
59000 Lille
France

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Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

Aucune donnée

Participants (5)

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