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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-04-30

New developments in optical spectroscopy for the chararacterisation of semi-conductor devices

Ziel



The aim of this project is to develop a new instrumentation based on Raman or luminescence spectroscopy in order to provide the microelectronics industry (highly integrated silicon technology and high-power electronics or opto-electronics) with an advanced non-destructive characterization; tool. A generic methodology for the characterization of devices in production environment using the pronosed instrumentation will be established. We will demonstrate the validity of this approach on :
* The measurement of local operating temperatures on high power electronic (microwave transistors) and optical (laser diodes) GaAs devices fabricated at Thomson-CSF and Daimler-Benz.
* The measurement of local stress in sub-micron Si devices fabricated at IMEC.
The project is governed by three objectives :
* The different techniques available necessary to completely characterize the device (operating parameters, materials characterization) will be associated in a single instrument.
* Ultimate performances of the instrument in terms of spatial resolution and adaptation to the real problems will be evaluated.
* A complete methodology for analysis will be developped.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

CSC - Cost-sharing contracts

Koordinator

Développement Instrumental en Liaison avec les Organismes de Recherche
EU-Beitrag
Keine Daten
Adresse
Rue des Bois Blancs
59000 Lille
Frankreich

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Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (5)

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