IC Technology for the 2nm Node

Información del proyecto

IT2

Identificador del acuerdo de subvención: 875999

DOI 10.3030/875999

Proyecto cerrado

Fecha de la firma de la CE 19 Mayo 2020

Fecha de inicio 1 Junio 2020

Fecha de finalización 30 Septiembre 2023

Financiado con arreglo a

• INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Information and Communication Technologies (ICT)

Coste total € 91 272 624,88

Aportación de la UE € 20 831 383,11

Coordinado por

ASML NETHERLANDS B.V.
Netherlands

Descripción del proyecto

La reducción continua allana el camino hacia el liderazgo mundial en tecnología de semiconductores de 2 nm

La investigación y desarrollo de semiconductores se centra continuamente en superar la tecnología de vanguardia de fabricación de microchips para adaptarse al aumento exponencial en la demanda de más capacidad de procesamiento. Para aumentar el número de transistores por chip, el proyecto IT2, financiado con fondos europeos, desarrolla litografía ultravioleta extrema de nueva generación y estudia nuevas estructuras 3D. Muy parecido a construir un complejo de apartamentos en lugar de una única casa unifamiliar en la misma propiedad. El proyecto permitirá la producción de los chips futuros que constituirán el núcleo de la IA, los datos masivos, la comunicación móvil y 5G y otros elementos de la digitalización europea. En este sentido, el proyecto desarrolla conocimientos e infraestructura para darle al sector europeo de los equipos de fabricación de semiconductores el liderazgo mundial en tecnología de semiconductores metal-óxido complementario y ayuda a Europa a lograr una posición soberana en la cadena de valor de la electrónica.

Objetivo

The overall objective of the IT2 project is to explore, develop and demonstrate technology options that are needed to realize 2nm CMOS logic technology extending the scaled Semiconductor technology roadmap to the next node in accordance to Moore’s law. These activities cover creation of Lithography equipment, new Processes & Modules and Metrology tools capable to create and deal with new 2nm node 3D structures, defect analysis, overlay and features.
The topics addressed by the program relate to the ECSEL MASP 2019 Chapter 10; “Process Technology, Equipment, Materials and Manufacturing for electronic components and systems”, with emphasis on the following major challenge “the Extension of world leadership in Semiconductor Equipment, Materials and Manufacturing solutions” and “Developing Technology for heterogeneous System-on-Chip (SoC) Integration” of the ECSEL JU Annual Work Plan 2019.
The relation of the IT2 project to world leadership regards the extension of the scaled semiconductor technology roadmaps and thereby maintain competence in advanced More Moore technology in Europe to support leading edge manufacturing.
The relation of the IT2 project to the Developing Technology for heterogeneous System-on-chip Integration comes from activities regarding “System Scaling” in which technology is developed that enables wafer-to-wafer bonding creating 3D heterogeneous solutions with the aim to resolve performance limitations in power and data congestion.
In regard to the annual work plan 2019, the IT2 project support the ECSEL JU objectives by contribution to the development of a strong and competitive Electronic Components and Systems (ECS) by involving many of the equipment and tool developers like; ASML, Zeiss, Thermo Fisher, Applied Materials, Nova, KLA along the value chain and knowledge institutes such as ARCNL, imec, PTB, TNO and TU/e. And by stimulating a dynamic ecosystem through through the involvement of SMEs like IBS, Recif, Reden and Unity.

Ámbito científico

• natural sciences › physical sciences › electromagnetism and electronics › semiconductivity
• natural sciences › biological sciences › ecology › ecosystems
• social sciences › law

Palabras clave

• Semiconductor
• Process
• Lithography
• Metrology
• Equipment
• Nano
• Technology
• Materials
• Moore's Law
• Heterogeneous
• Photonics
• System
• DTCO
• STCO

Programa(s)

• H2020-EU.2.1.1. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Information and Communication Technologies (ICT) Main Programme
• H2020-EU.2.1.1.7. - ECSEL

Tema(s)

• ECSEL-2019-1-IA - ECSEL-2019-1-IA

Convocatoria de propuestas

H2020-ECSEL-2019-1-IA-two-stage

Consulte otros proyectos de esta convocatoria

Convocatoria de subcontratación

H2020-ECSEL-2019-1-IA

Régimen de financiación

IA - Innovation action

Coordinador

ASML NETHERLANDS B.V.

• Aportación neta de la UEn: € 3 000 000,00
• Dirección: DE RUN 6501 ; 5504DR Veldhoven ; Países Bajos
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 15 434 132,50

Participantes (34)

APPLIED MATERIALS BELGIUM

Bélgica

• Aportación neta de la UEn: € 62 500,00
• Dirección: KAPELDREEF 75 Bus C1 ; 3001 Leuven
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Vlaams-Brabant › Arr. Leuven
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 312 500,00

APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 0,00
• Dirección: OPPENHEIMER STREET 9 ; 76705 Rehovot
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 562 500,00

AMPHOS GMBH

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 342 500,00
• Dirección: KAISERSTRASSE 100 ; 52134 Herzogenrath
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Nordrhein-Westfalen › Köln › Städteregion Aachen
• Región: Nordrhein-Westfalen › Köln › Städteregion Aachen
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 712 500,00

STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK INSTITUTEN

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 212 187,50
• Dirección: WINTHONTLAAN 2 ; 3526 KV Utrecht
• Región: West-Nederland › Utrecht › Utrecht
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: € 606 250,00

BRUKER TECHNOLOGIES LTD

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 288 875,00
• Dirección: 6 HAMECHKAR STREET RAMAT GAVRIEL INDUSTRIAL ZONE ; 2306990 Migdal Haemek
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 930 500,00

CADENCE DESIGN SYSTEMS SAS

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 84 684,60
• Dirección: 18 RUE GRANGE DAME ROSE 18 ; 78140 Velizy-Villacoublay
• Región: Ile-de-France › Ile-de-France › Yvelines
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 423 423,00

CAMECA SAS

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 212 500,00
• Dirección: QUAI DES GRESILLONS 23/29 ; 92230 Gennevilliers
• Región: Ile-de-France › Ile-de-France › Hauts-de-Seine
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 062 500,00

COVENTOR SARL

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 254 750,00
• Dirección: AVENUE DU QUEBEC 3 ; 91140 Villebon Sur Yvette
• Región: Ile-de-France › Ile-de-France › Essonne
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 442 500,00

Tercero

Entidad jurídica distinta de un subcontratista que está afiliada o vinculada jurídicamente con un participante. Dicha entidad lleva a cabo su trabajo en las condiciones establecidas en el acuerdo de subvención, proporciona bienes o presta servicios para la acción, pero no firma dicho acuerdo. El tercero acata las normas aplicables a su participante en virtud del acuerdo de subvención en lo que respecta a la subvencionalidad de los costes y el control de los gastos.

LAM RESEARCH BELGIUM

Bélgica

• Aportación neta de la UEn: € 33 750,00
• Dirección: KAPELDREEF 75 ; 3001 Leuven
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Vlaams-Brabant › Arr. Leuven
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 168 750,00

EV GROUP E. THALLNER GMBH

Austria

• Aportación neta de la UEn: € 354 330,00
• Dirección: DI ERICH THALLNER STRASSE 1 ; 4782 St Florian Am Inn
• Región: Westösterreich › Oberösterreich › Innviertel
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 771 650,00

ION BEAM SERVICES

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 282 525,00
• Dirección: RUE GASTON IMBERT PROLONGEE ; 13790 Rousset
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Provence-Alpes-Côte d’Azur › Provence-Alpes-Côte d’Azur › Bouches-du-Rhône
• Región: Provence-Alpes-Côte d’Azur › Provence-Alpes-Côte d’Azur › Bouches-du-Rhône
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 130 100,00

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM

Bélgica

• Aportación neta de la UEn: € 5 768 981,33
• Dirección: KAPELDREEF 75 ; 3001 Leuven
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Vlaams-Brabant › Arr. Leuven
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: € 16 482 803,81

LEIBNIZ-INSTITUT FUR OBERFLACHENMODIFIZIERUNG EV

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 346 696,88
• Dirección: PERMOSERSTRASSE 15 ; 04318 Leipzig
• Región: Sachsen › Leipzig › Leipzig
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: € 990 562,50

KLA-TENCOR CORPORATION (ISRAEL)

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 1 030 305,00
• Dirección: HATIKSHORET ST. ; 23100 Migdal Haemek
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 5 151 525,00

LASER SYSTEMS & SOLUTIONS OF EUROPE

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 134 900,29
• Dirección: 145 RUE DES CABOEUFS ; 92230 Gennevilliers
• Región: Ile-de-France › Ile-de-France › Hauts-de-Seine
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 674 501,44

NOVA LTD

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 806 000,00
• Dirección: 5 DAVID FIKES ST ; 76100 REHOVOT
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 5 037 500,00

PFEIFFER VACUUM

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 184 303,50
• Dirección: 98 AVENUE DE BROGNY ; 74000 Annecy
• Región: Auvergne-Rhône-Alpes › Rhône-Alpes › Haute-Savoie
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 921 517,50

PRODRIVE TECHNOLOGIES BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 118 000,00
• Dirección: SCIENCE PARK EINDHOVEN 5501 ; 5692 EM Son
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 315 175,00

Tercero

Entidad jurídica distinta de un subcontratista que está afiliada o vinculada jurídicamente con un participante. Dicha entidad lleva a cabo su trabajo en las condiciones establecidas en el acuerdo de subvención, proporciona bienes o presta servicios para la acción, pero no firma dicho acuerdo. El tercero acata las normas aplicables a su participante en virtud del acuerdo de subvención en lo que respecta a la subvencionalidad de los costes y el control de los gastos.

PRODRIVE TECHNOLOGIES INNOVATION SERVICES B.V.

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 145 035,00
• Dirección: SCIENCE PARK EINDHOVEN 5501 ; 5692 EM Son En Breugel
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 725 175,00

PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 303 936,00
• Dirección: BUNDESALLEE 100 ; 38116 Braunschweig
• Región: Niedersachsen › Braunschweig › Braunschweig, Kreisfreie Stadt
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: € 964 875,00

RECIF TECHNOLOGIES

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 246 660,00
• Dirección: rue des briquetiers 9 ; 31700 Blagnac
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Occitanie › Midi-Pyrénées › Haute-Garonne
• Región: Occitanie › Midi-Pyrénées › Haute-Garonne
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 986 642,50

REDEN B.V.

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 81 637,63
• Dirección: F HAZEMEIJERSTRAAT 800 ; 7555 RJ Hengelo Ov
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Región: Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 326 550,51

SEMILAB FELVEZETO FIZIKAI LABORATORIUM ZARTKORUEN MUKODO RESZVENYTARSASAG

Hungría

• Aportación neta de la UEn: € 416 250,00
• Dirección: PRIELLE KORNELIA UTCA 2 ; 1117 BUDAPEST
• Región: Közép-Magyarország › Budapest › Budapest
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 2 312 500,00

SOITEC SA

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 581 254,10
• Dirección: PARC TEC NO DES FONTAINES CHEMIN DE FRANQUES ; 38190 Bernin
• Región: Auvergne-Rhône-Alpes › Rhône-Alpes › Isère
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 3 387 301,31

Tercero

Entidad jurídica distinta de un subcontratista que está afiliada o vinculada jurídicamente con un participante. Dicha entidad lleva a cabo su trabajo en las condiciones establecidas en el acuerdo de subvención, proporciona bienes o presta servicios para la acción, pero no firma dicho acuerdo. El tercero acata las normas aplicables a su participante en virtud del acuerdo de subvención en lo que respecta a la subvencionalidad de los costes y el control de los gastos.

SOITEC LAB

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 96 206,16
• Dirección: CHEMIN DES FRANQUES PARC TECHNOLOGI ; 38190 Bernin
• Región: Auvergne-Rhône-Alpes › Rhône-Alpes › Isère
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 481 030,81

SPTS TECHNOLOGIES LIMITED

Reino Unido

• Aportación neta de la UEn: € 48 525,75
• Dirección: RINGLAND WAY ; NP18 2TA Newport
• Región: Wales › East Wales › Monmouthshire and Newport
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 242 628,75

FEI ELECTRON OPTICS BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 803 000,00
• Dirección: ACHTSEWEG NOORD GEBOUW AAE 5 ; 5651 GG Eindhoven
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 4 015 000,00

NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 371 875,00
• Dirección: ANNA VAN BUERENPLEIN 1 ; 2595 DA Den Haag
• Región: West-Nederland › Zuid-Holland › Agglomeratie ’s-Gravenhage
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: € 1 062 500,00

TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 602 776,56
• Dirección: GROENE LOPER 3 ; 5612 AE Eindhoven
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Higher or Secondary Education Establishments
• Coste total: € 1 722 218,75

UNITY SEMICONDUCTOR

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 216 526,56
• Dirección: 611 RUE ARISTIDE BERGES ; 38330 Montbonnot-Saint-Martin
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Auvergne-Rhône-Alpes › Rhône-Alpes › Isère
• Región: Auvergne-Rhône-Alpes › Rhône-Alpes › Isère
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 866 106,25

UNIVERSITATEA POLITEHNICA DIN BUCURESTI

Rumanía

• Aportación neta de la UEn: € 0,00
• Dirección: SPLAIUL INDEPENDENTEI 313 SECT 6 ; 060042 Bucharest
• Región: Macroregiunea Trei › Bucureşti-Ilfov › Bucureşti
• Tipo de actividad: Higher or Secondary Education Establishments
• Coste total: € 1 310 000,00

VDL ETG TECHNOLOGY & DEVELOPMENT BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 206 288,65
• Dirección: SCHAKEL 22 ; 5651 GH Eindhoven
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 146 048,06

CARL ZEISS SMT GMBH

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 2 782 397,60
• Dirección: RUDOLF EBER STRASSE 2 ; 73447 Oberkochen
• Región: Baden-Württemberg › Stuttgart › Ostalbkreis
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 13 911 988,00

ASML BELGIUM BVBA

Bélgica

• Aportación neta de la UEn: € 411 225,00
• Dirección: KALMTHOUTSESTEENWEG 100 ; 2919 Essen
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Antwerpen › Arr. Antwerpen
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 2 056 125,00