La fabrication innovante de systèmes microélectromécaniques
Les nanofils, les nanotubes et les systèmes microélectromécaniques (MEMS) qui les emploient forment la base de nombreux dispositifs innovants. L'électrodéposition assistée par modèle émerge en tant que technique importante pour former des nanomatériaux de forme et de taille différentes. L'électrodéposition assistée par modèle économique des alliages métalliques sous la forme de films nanocristallins a le potentiel d'améliorer leur mode de fabrication. Des scientifiques financés par l'UE ont mené une campagne expérimentale intense dans le cadre du projet TEMADEP («Template-assisted deposition of functional materials and devices») pour dériver les paramètres de processus. Ils ont étudié la relation entre la structure et les propriétés des alliages de tungstène et de molybdène et ont évalué les applications possibles. L'attention s'est concentrée sur les métaux et les alliages particulièrement adaptés aux MEMS. Ces applications requièrent une forme mécanique importante, une résistance à l'usure, la résistance thermique et la résistance à la déformation. Le traitement des nanofils et de nombreuses structures à multiples couches a été optimisé pour former la base de l'électroformage des MEMS en vue de produire des microbosses. Les microbosses sont de petites structures 3D en étude en laboratoire pour l'évaluation par l'empilage de puces électroniques, renforçant ainsi l'interconnexion de dispositifs dans un petit paquet. L'équipe a ensuite exploité l'électrodéposition assistée par modèle de matériaux sur les électrodes pour des applications de capteurs. Les scientifiques ont caractérisé les propriétés des alliages les plus prometteurs. En plus des objectifs scientifiques, TEMADEP a tenté de renforcer les liens entre la Belgique, la France et la Lituanie (des États membres de l'UE) et des pays tiers comme la Moldavie et les États-Unis. En application de la collaboration fructueuse, le projet a publié de nombreux articles scientifiques et a généré neuf autres propositions de projet par des partenaires de projet. TEMADEP a démontré l'utilisation de l'électrodéposition assistée par modèle d'alliages de tungstène et de molybdène pour former les nanofils et les nanotubes pour la MEMS et les microbosses. La caractérisation des paramètres de processus et de propriétés de matériaux devrait aider à relancer l'industrie de l'UE vers une application future.
