Nowe metody wytwarzania systemów mikroelektromechanicznych
Nanoprzewody, nanorurki i systemy mikroelektromechaniczne, które z nich korzystają, stanowią podstawę wielu nowych, ekscytujących urządzeń lub ich projektów. Osadzanie elektrolityczne wspomagane szablonami staje się ważną technologią uzyskiwania określonych kształtów i rozmiarów nanomateriałów metalicznych. Niedrogie metody wspomaganego szablonami osadzania elektrolitycznego stopów metalicznych w postaci warstw nanokrystalicznych mają ogromny potencjał w udoskonalaniu procesu produkcyjnego. Korzystający z funduszy UE naukowcy przeprowadzili intensywne prace eksperymentalne w ramach projektu "Template-assisted deposition of functional materials and devices" (TEMADEP), aby określić parametry procesu. Badali zależność pomiędzy strukturą i właściwościami stopów wolframu i molibdenu oraz oceniali ich możliwe zastosowania. Koncentrowano się na metalach i stopach szczególnie odpowiednich do zastosowania w systemach mikroelektromechanicznych. Takie zastosowania wymagają dużej wytrzymałości mechanicznej, odporności na zużycie ścierne, temperaturę i odkształcenia. Zoptymalizowano przetwarzanie nanoprzewodów i różnych struktur wielowarstwowych, aby stworzyć podstawy do elektrolitycznego tworzenia systemów mikroelektromechanicznych. Mikrowybrzuszenia są niewielkimi strukturami 3D podlegającymi badaniom laboratoryjnym nad możliwością układania w stosy 3D chipów elektronicznych, co zwiększy możliwość tworzenia wewnętrznych połączeń w obrębie bardzo małego pakietu. Zespół analizował również zastosowanie osadzania elektrolitycznego wspomaganego szablonami na elektrodach do czujników. Naukowcy opisali właściwości najbardziej obiecujących stopów. Oprócz celów naukowych projekt TEMADEP miał za zadanie wzmocnić współpracę pomiędzy krajami z Unii Europejskiej: Belgią, Francją i Litwą, a krajami spoza Unii: Mołdawią i USA. Rezultatem owocnej współpracy było opublikowanie licznych artykułów naukowych i zaproponowanie dziewięciu kolejnych, wspólnych projektów do realizacji przez uczestników obecnego projektu. Projekt TEMADEP wykazał użyteczność wspomaganego szablonami osadzania elektrolitycznego stopów wolframu i molibdenu w tworzeniu nanoprzewodów i nanorurek do systemów mikroelektromechanicznych i mikrowybrzuszeń. Charakterystyka parametrów procesu i właściwości materiałów powinna zainspirować przemysł unijny do wdrożenia badanej technologii.
