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Laser Nanoscale Manufacturing

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Creación de nanopatrones de altísima precisión

La nanofabricación de patrones sobre substratos es fundamental para aplicaciones que van desde los nanosensores hasta la nanooptoelectrónica. Gracias a la financiación de la Unión Europea fue posible desarrollar una tecnología innovadora con una resolución increíble en un paquete sencillo y rentable.

La formación de patrones sobre substratos como los necesarios para las placas de circuitos impresos se ha basado tradicionalmente en la impresión litográfica. En este proceso se utiliza una máscara de polímero para transferir una imagen a un substrato con una capa fotorresistente (emulsión fotosensible). La resolución y la precisión se pueden ver limitadas por la distorsión, tanto de la máscara como del substrato, durante el procesamiento. Las estructuras a escala nanométrica actuales requieren nuevas tecnologías. La litografía sin máscara utiliza radiación enfocada para imprimir una imagen directamente sobre la capa fotorresistente. Esta técnica ofrece numerosas ventajas, entre las que se incluyen la eliminación de la necesidad de producir máscaras para cada proceso, una resolución mejorada y un alto rendimiento. El desarrollo de nuevas tecnologías de fabricación que aprovechan estos conceptos fue el tema central del proyecto «Laser nanoscale manufacturing» (LASERNAMI)(se abrirá en una nueva ventana) , financiado con fondos europeos. Los científicos han desarrollado tecnologías que ofrecen numerosas ventajas en comparación con otras técnicas avanzadas como haces de iones, haces de electrones, sondas de barrido y la litografía nanoimpresa. El nuevo enfoque es simple, barato y versátil. Permite una distancia de trabajo larga y es compatible con diversos substratos, tanto para aplicaciones bidimensionales como tridimensionales. Se desarrollaron dos sistemas de litografía de interferencia basados en este enfoque. Uno de los sistemas tiene cuatro haces y el otro tiene un nuevo láser de longitud de onda múltiple (cinco longitudes de onda diferentes) con haces numerados del dos al seis. Los científicos consiguieron una resolución más allá del límite de difracción de luz (tan pequeña como cincuenta nanómetros), estableciendo un nuevo récord. El equipo utilizó la nueva tecnología para fabricar diversos dispositivos como, por ejemplo, nanorrejillas, marcadores de seguridad antifalsificación y nanosensores. La nanofabricación está ampliando las fronteras del desarrollo de productos y seguirá siendo fundamental para la miniaturización y la funcionalización de dispositivos en prácticamente todos los campos. La tecnología de la UE está destinada a desempeñar un papel de liderazgo.

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