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Development of energy efficient microwave diamond film deposition system

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Diamanten zu erschwinglichen Preisen

Diamanten haben viele einzigartige Eigenschaften, durch die sie sich ausgezeichnet für eine Vielzahl von kommerziellen Anwendungen eignen. Bislang wurden sie aus wirtschaftlichen und technischen Gründen nur eingeschränkt verwendet, doch die Entwicklung eines neuen, energieeffizienten Verfahrens, bei dem ein Mikrowellenplasma zur Anwendung kommt, könnte bald eine kostengünstige Nutzung von Diamantbeschichtungen in einem breiten Spektrum von Industrieanwendungen möglich machen.

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Der Diamant, das härteste bekante Material, zeichnet sich durch hervorragende thermische, mechanische, chemische und optische Eigenschaften aus. Damit eignet er sich ausgezeichnet für eine Vielzahl von kommerziellen Anwendungen. So kann er z.B. auch als Folie zum Beschichten von Werkzeugen dienen, die dadurch wesentlich härter und langlebiger werden. Dadurch brauchen die Teile weniger häufig ersetzt zu werden, was wiederum die Produktivität erhöht. Doch um Diamantfolien so kostengünstig herstellen zu können, dass sie für vielfältige Industriewerkzeuge in Frage kommen, müssen größere Flächen schneller und billiger beschichtet werden als dies mit den derzeitigen Verfahren möglich ist. Diamantfolien werden mit Hilfe von Mikrowellenplasmasystemen auf Oberflächen aufgebracht. Um dieses Verfahren zu verbessern, wurde jetzt ein neues System mit dem Kürzel "CAP" entwickelt. Beim CAP-Reaktor (mit CAP für "Circumferential Antenna Plasma") steht, handelt es sich um einen energieeffizienten Flamm- und Abscheidungs-Plasmareaktor, der mit Mikrowellen arbeitet und die Herstellung von Diamantbeschichtungen weitaus kostengünstiger als bisher gestattet. Erreicht wurde dies durch Erhöhung der Mikrowellenenergie, die somit eine Vergrößerung der maximalen Beschichtungsfläche ermöglicht. Das CAP-System gestattet die Herstellung von Oberflächen mit einer sehr gleichmäßigen Diamantbeschichtung. Gleichzeitig löst es auch einige bekannte Probleme wie die unzureichende Adhäsion der Diamantbeschichtung auf der Oberfläche und führt zu gut haftenden Beschichtungen von konstanter Dicke. Diese neue Plasmatechnologie, für die bereits ein Prototyp entwickelt wurde, könnte in einer Vielzahl von industriellen Anwendungen zum Einsatz kommen. Diese kostengünstigere Diamantbeschichtung kann jetzt auch in Fällen angewandt werden, in denen große Flächen beschichtet werden müssen, beispielsweise in Hochleistung-Rotationswerkzeugen, in der Automobilindustrie, in der Luft- und Raumfahrttechnik und bei der Herstellung von Lasern für medizinische Anwendungen.

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