Processus de revêtement novateur pour applications «labs-on-the-chip» de pointe
Les enduits conducteurs transparents sont utilisés dans un vaste spectre d'applications, allant des applications d'affichage de pointe (écran plat, écran tactile) au blindage électromagnétique en passant par le chauffage électrique. L'oxyde d'étain et d'indium ITO est un des enduits les plus commercialisés en raison de ses excellentes propriétés optiques et de son excellente durabilité. Pour les appareils optoélectroniques, le processus de dépôt comprend une étape de recuit à haute température qui permet d'obtenir la cristallisation de la couche d'ITO déposée sur des substrats planaires de verre. Il est très intéressant de constater que l'ITO est considéré comme l'électrode transparente idéale pour les applications biofluidiques. Ce n'est que très récemment que les polymères sont plus acceptés en tant que substrats, en particulier pour le développement de la technologie des diodes organiques électroluminescentes (OLED). Cette technologie utilisée dans les dispositifs d'affichage, replace progressivement le LCD car elle est plus mince, plus rapide, plus légère, moins chère et moins gourmande en énergie. Malgré la recherche approfondie menée dans le domaine du dépôt à basse température d'ITO sur des feuilles de polymères, les développements n'ont pas encore abouti. Un problème clé non résolu concerne l'optimisation de la transparence dans le spectre visible, pour obtenir un processus de dépôt similaire à ceux utilisés pour les substrats planaires. Le dispositif Microelectronic Device for Individual Cell Sorting (MEDICS) comprend un microscope optique à fluorescence qui permet d'observer à travers une feuille transparente et non fluorescente. Le dépôt d'une contre-électrode sur cette feuille est responsable de la création d'un champ de force diélectrophorétique permettant l'observation des cellules. Un processus de dépôt ITO à basse température, conforme aux exigences fondamentales de la compatibilité biologique et fluidique, a été développé en utilisant un processus en courant continu de pulvérisation à micro ondes, permettant le dépôt homogène de l'enduit sur une grande surface. Les enduits optiques ainsi obtenus ont affiché des qualités électriques et optiques sans précédent. La couche ITO présentait une excellente adhésion mécanique sur surface de polymère. Pour plus d'informations, consulter: http://www.siliconbiosystems.com/MeDICS/(s’ouvre dans une nouvelle fenêtre)
