Wissenserweiterung für eine erweiterte Nanotechnologie
Nanotechnologien, basierend auf den vielversprechenden Eigenschaften von Kohlenstoffnanoröhren (CNT, Carbon Nanotubes), gewinnen in der Mikroelektronik immer mehr an Bedeutung. Es müssen jedoch immer noch einige Hindernisse überwunden werden: Ganz oben auf dieser Liste steht ein verbessertes Verständnis der CNT-Wachstumsmechanismen. Des Weiteren werden zusätzliche Informationen zum Synthese-Prozess zur Fertigungssteuerung von Nanoröhren mit bestimmten Dimensionen benötigt. Das Projekt "Carbon nanotubes technology on Si IC's" (Carbonchip, Kohlenstoffnanotechnologie bei Silikon-ICs) produzierte einen materialbasierten Plan, der die Integration der CNT-Technologie in die Silikon (Si)-Technologie ausarbeiten sollte. Die Aktivitäten, die dieses Ergebnis ermöglichen, konzentrierten sich auf Forschung und Entwicklung in Bezug auf Katalyse, CNT-Wachstum und die entsprechende On-Chip-Technologie sowie die Analysemethode zur Integration von CNTs in Si-Strukturen. Das Konsortium maß der Programmkompatibilität und der Ausführbarkeit einer Fertigung auf industrieller Ebene eine große Bedeutung zu. Die Carbonchip-Partner entwickelten eine bestimmte Katalysatortechnologie, die die Studie verschiedener CNT-Wachstumsprozesse ermöglicht, die die Herstellung von dichten Wäldern aus einwandigen Kohlenstoffnanoröhren (SWCNTs, single-walled carbon nanotubes) mit einem bestimmten Durchmesser erleichtert. Zur Entwicklung eines erfolgreichen Ansatzes für das SWCNT-Wachstum wurden Erfolge in diesem Bereich mit den Fortschritten beim Aufpolymerisieren von SWCNTs in verschiedene Substrate kombiniert. Im Gegenzug erhielt man durch Gerätecharakterisierung und elektrische Prüfungen einen Einblick in die Kompatibilität von CNTs mit der Si-Technologie. Die Vereinbarung von Kenntnissen aus der Materialwissenschaft mit der Nanofertigung ist ein wichtiger Bestandteil, um den Weg zur CNT-basierten Nanoelektronik zu ebnen. Daher wird davon ausgegangen, dass die Ergebnisse von Carbonchip einen großen Einfluss auf die Entwicklung der Nanoelekrtonikstrategien haben werden, die darauf abzielen, Nanotransistor-Geräte mit integriertem Schaltkreis (IC, integrated circuit) zu realisieren.
