Kostengünstige Maschinen im atomaren Maßstab
Nanostrukturierung oder Nanolithographie ist mit der Herstellung (gemustert) Strukturen im Nanometermaßstab verbunden. Eines der größten Hindernisse in der Nanostruktur-Entwicklung ist, dass keine kostengünstige und effiziente Fertigungsmethode existiert. Die häufigste Methode, die derzeit verwendet wird, ist die tiefe Ultraviolett (UV)-Lithographie, die das Licht so fokussiert, dass es ein Muster auf einen Wafer prägt. Es erinnert an Fotografie. Das Projekt "Emerging nanopatterning methods" (NAPA) soll mehr als 80% des bestehenden europäischen Wissens im Zusammenhang mit Nanolithographie zusammenfassen, um eine Bibliothek über Nanostrukturierungsprozesse zu erstellen, die zu radikalen Innovationen auf dem Gebiet führen soll. Nanostrukturierung wird in Branchen wie der Elektronik und Biotechnologie in großem Maßstab angewendet. Die Forscher konzentrierten sich auf Nanoimprintlithographie, weiche Lithographie und Selbstorganisation und der MEMS-basierte Nanostrukturierung einschließlich Materialien, Werkzeuge und Simulation dieser Methoden. Darüber hinaus bewerteten sie Fragen zur Umweltverträglichkeit, Sicherheit und Gesundheit (ESH) für alle Materialien und Verfahren. Das NAPA-Konsortium erstellte erfolgreich eine Bibliothek der drei bewerteten Nanostrukturierungsverfahren und entwickelte Simulationstools für die Prozessoptimierung. Die Bibliothek und Simulationswerkzeuge lieferten kostengünstige, skalierbare Alternativen zur herkömmlichen tiefen UV-Technologie aufgrund ihrer Anwendbarkeit auf Informations-und Kommunikationstechnologien (ICT), Pharmazeutik, Biotechnologie, Gesundheit und Medizin. Das Konsortium untersuchte die Materialien, Ausrüstungen, Verfahren und Techniken über mehrere Demonstratoren, zu denen auch ein optischer Encoder, ein Laser mit verteilter Rückkopplung (distributed feedback-Laser, DBF) und ein Gerät für Mikrofluidik. Zusammenfassend hat das NAPA-Konsortium den Stand der Technik für Nanostrukturierung durch die Bereitstellung kostengünstiger Alternativen zur tiefen UV-Technologie vorangebracht. Die Bibliothek und Simulations-Tools sollen einen wesentlichen Impuls für die Herstellung von nanoskaligen "Maschinen" schaffen, die die europäische Wettbewerbsfähigkeit in einem hart umkämpften globalen Markt stärken.
