Micro y nanoelectrónica basadas en silicio

Programa nacional de micro y nanoelectrónica con un interés exclusivo por la nanotecnología
- Intensificación de la colaboración entre comunidades empresarial y científica para plasmar rápidamente los resultados de investigación en productos comercializables.
- Participación precoz de las pequeñas y medianas empresas en los programas de investigación.
- Flexibilización del sistema alemán de investigaciones y estudios científicos a través del desarrollo continuo de sus estructuras con el fin de maximizar el impacto del empleo de los fondos de investigación.
Nuevos procesos de estructuración de nanocomponentes, litografía óptica con luz ultravioleta de láser de 157 nm, desarrollo de tecnologías de máscara para aplicaciones nanolitográficas, tecnología ultravioleta extrema
Coeficiente de financiación del 50 por ciento; cooperación entre centros de investigación y organizaciones industriales de vital importancia