Microélectronique/Nanoélectronique basée sur le silicium

Programme national pour la microélectronique et la nanoélectronique, avec une attention distincte portée à la nanotechnologie
- Intensification de la collaboration entre les entreprises et la science en vue de transformer rapidement les fruits des recherches en produits commercialisables.
- Participation de PME dans les programmes de recherche dès les premières phases.
- Rendre le système allemand d'études et de recherche scientifiques plus flexible en continuant de développer ses structures de manière à optimiser l'utilisation des fonds de recherche.
Nouveaux procédés pour structurer les nanocomposants; lithographie optique basée sur faisceau laser UV d'une longueur d'onde de 157 nm; développement de la technologie des masques pour la nanolithographie; UV extrêmes
Taux de financement 50 pour cent; coopération essentielle entre instituts de recherche et industrie