Mikro-/Nanoelektronik auf Siliziumbasis

Nationales Programm für Mikro- und Nanoelektronik mit besonderem Schwerpunkt auf der Nanotechnologie
- Intensivierung der Zusammenarbeit zwischen Wirtschaft und Wissenschaft im Hinblick auf die rasche Umwandlung von Forschungsergebnissen in marktfähige Produkte.
- Frühzeitige Beteiligung kleiner und mittlerer Unternehmen an den Forschungsprogrammen.
- Flexibilisierung des deutschen naturwissenschaftlichen Hochschul- und Forschungswesens durch die Weiterentwicklung seiner Strukturen im Hinblick auf die Maximierung der Wirkung der eingesetzten Forschungsmittel.
Neuartige Prozesse für die Strukturierung von Nanokomponenten; optische Lithografie auf Grundlage von 157-nm-UV-Laserstrahlen; Entwicklung der Maskentechnik für die Nanolithografie; Extrem-UV
Finanzierungsrate: 50 Prozent; Zusammenarbeit zwischen Forschungseinrichtungen und Industrie unerlässlich