Micro e nanoelettronica basata sull'impiego di silicio

Programma nazionale di micro e nanoelettronica, con una distinta attenzione per le nanotecnologie
- Intensificazione della collaborazione fra le imprese e la comunità scientifica, al fine di trasformare rapidamente i risultati della ricerca in prodotti commercializzabili.
- Partecipazione delle piccole e medie imprese ai programmi di ricerca, fin dalle prime fasi.
- Maggiore flessibilità del sistema tedesco di analisi e ricerca scientifica mediante un ulteriore sviluppo delle sue strutture, al fine di ottimizzare l'utilizzo dei fondi di ricerca.
Nuovi processi per la strutturazione dei nanocomponenti; litografia ottica basata sulla luce laser UV a 157 nm; sviluppo della tecnologia a maschera per la nanolitografia; estremo UV
Tasso di finanziamento: 50 per cento; la cooperazione fra istituti di ricerca e industria è essenziale