Ziel
Chalcogenide-based phase change materials (which contain at least one element from Group VI in the periodic table: Te, Se,or S) have recently generated strong attention for electronic memory applications, due to their success as optical storage media. Phase-change memories (PCM) are one of the most promising candidates for next-generation non-volatile memories, having the potential to improve the performance compared to Flash memories as well as to be scalable beyond Flash technology.
One technological issue is the phase-change layer deposition process, which principally determines the implementation of the material properties. Phase-change films are currently grown by sputtering, a physical vapour deposition technique, which has yielded demonstrator chips. However, for continued down-scaling for high-density nanoelectronic devices and lower programming currents, greater control of film deposition over non-planar structures is than possible with sputtering is necessary. Despite this need, no other deposition routes are available nor widely studied.
Overall Objectives
The project therefore aims at the development of a film manufacturing process based on a chemical-based technique, metal-organic chemical vapour deposition (MOCVD). MOCVD enables the production of thin films with superior quality compared to those obtained by sputtering, especially in terms of conformality, coverage, and stoichiometry control, and allows implementation of phase-change films in nanoelectronic devices. The main phase-change chalcogenide material system that will be investigated is Ge2Sb2Te5 (GST). Once a suitable process is developed, it will be used to fabricate state-of-the-art memory cells at the 90/65 nm node, and the electrical performance compared with standard devices based on sputtered GST. Doping of GST and modified compounds will also be investigated to improve device performance.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Technik und Technologie Maschinenbau Produktionstechnik
- Technik und Technologie Werkstofftechnik Beschichtung
Sie müssen sich anmelden oder registrieren, um diese Funktion zu nutzen
Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
Italien
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.