Objetivo
The project "Development of Lithography Technology for Nanoscale Structuring of Materials Using Laser Beam Interference (DELILA)" focuses on researching and developing a new production technology for fabrication of nano structures and devices. In particular, DELILA will enable low cost and large volume production of surface structures and patterns with nanometric resolution.
Industrial end-users are currently discouraged from expanding their nanotechnology-related business activities by either unacceptably high costs or the impossibility to control production processes on a nanometric scale. DELILA will play a key role in realising the full potential of laser interference lithography as current nanofabrication tools are limited to archaic, slow processing rates, or do not achieve a competitive cost-effective strategy.
DELILA is driven by industrial needs to down-scale feature sizes to nano dimensions, lower fabrication costs and efficiently increase throughput, with the following industrial and scientific objectives:
(1)Fundamental exploration of multiple beam interference lithography and its capabilities;
(2)Development of computer software for the analysis of interference of several coherent beams of laser radiation and for the calculation of the results of diffraction of the radiation by periodic structures of different forms;
(3) Development of DELILA system.
The main outcome of the project will be a nano fabrication tool that has the potential to create a breakthrough in nanolithography technology for both 2D and 3D structuring of materials. It is the aim of DELILA to empower interference nanolithography technology with a clear focus on industrial use. The main advantageous features of the DELILA system in fabrication of nano structures and devices are high resolution (better than 40 nm) compared with other optical technologies, and low cost and high efficiency compared with other beam technologies.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales informática y ciencias de la información software
- ciencias naturales ciencias físicas óptica física del láser
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
CF24 0DE CARDIFF
Reino Unido
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.