Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski pl
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS
Zawartość zarchiwizowana w dniu 2024-05-29

Development of Lithography Technology for Nanoscale structuring of materials using Laser beam interference

Cel

The project "Development of Lithography Technology for Nanoscale Structuring of Materials Using Laser Beam Interference (DELILA)" focuses on researching and developing a new production technology for fabrication of nano structures and devices. In particular, DELILA will enable low cost and large volume production of surface structures and patterns with nanometric resolution.

Industrial end-users are currently discouraged from expanding their nanotechnology-related business activities by either unacceptably high costs or the impossibility to control production processes on a nanometric scale. DELILA will play a key role in realising the full potential of laser interference lithography as current nanofabrication tools are limited to archaic, slow processing rates, or do not achieve a competitive cost-effective strategy.

DELILA is driven by industrial needs to down-scale feature sizes to nano dimensions, lower fabrication costs and efficiently increase throughput, with the following industrial and scientific objectives:
(1)Fundamental exploration of multiple beam interference lithography and its capabilities;
(2)Development of computer software for the analysis of interference of several coherent beams of laser radiation and for the calculation of the results of diffraction of the radiation by periodic structures of different forms;
(3) Development of DELILA system.

The main outcome of the project will be a nano fabrication tool that has the potential to create a breakthrough in nanolithography technology for both 2D and 3D structuring of materials. It is the aim of DELILA to empower interference nanolithography technology with a clear focus on industrial use. The main advantageous features of the DELILA system in fabrication of nano structures and devices are high resolution (better than 40 nm) compared with other optical technologies, and low cost and high efficiency compared with other beam technologies.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

Brak dostępnych danych

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

STREP - Specific Targeted Research Project

Koordynator

CARDIFF UNIVERSITY
Wkład UE
Brak danych
Adres
30 - 36 NEWPORT ROAD
CF24 0DE CARDIFF
Zjednoczone Królestwo

Zobacz na mapie

Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

Brak danych

Uczestnicy (4)

Moja broszura 0 0