Ziel
The project "Development of Lithography Technology for Nanoscale Structuring of Materials Using Laser Beam Interference (DELILA)" focuses on researching and developing a new production technology for fabrication of nano structures and devices. In particular, DELILA will enable low cost and large volume production of surface structures and patterns with nanometric resolution.
Industrial end-users are currently discouraged from expanding their nanotechnology-related business activities by either unacceptably high costs or the impossibility to control production processes on a nanometric scale. DELILA will play a key role in realising the full potential of laser interference lithography as current nanofabrication tools are limited to archaic, slow processing rates, or do not achieve a competitive cost-effective strategy.
DELILA is driven by industrial needs to down-scale feature sizes to nano dimensions, lower fabrication costs and efficiently increase throughput, with the following industrial and scientific objectives:
(1)Fundamental exploration of multiple beam interference lithography and its capabilities;
(2)Development of computer software for the analysis of interference of several coherent beams of laser radiation and for the calculation of the results of diffraction of the radiation by periodic structures of different forms;
(3) Development of DELILA system.
The main outcome of the project will be a nano fabrication tool that has the potential to create a breakthrough in nanolithography technology for both 2D and 3D structuring of materials. It is the aim of DELILA to empower interference nanolithography technology with a clear focus on industrial use. The main advantageous features of the DELILA system in fabrication of nano structures and devices are high resolution (better than 40 nm) compared with other optical technologies, and low cost and high efficiency compared with other beam technologies.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Naturwissenschaften Informatik und Informationswissenschaften Software
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Optik Laserphysik
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
CF24 0DE CARDIFF
Vereinigtes Königreich
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.