Objectif
The project "Development of Lithography Technology for Nanoscale Structuring of Materials Using Laser Beam Interference (DELILA)" focuses on researching and developing a new production technology for fabrication of nano structures and devices. In particular, DELILA will enable low cost and large volume production of surface structures and patterns with nanometric resolution.
Industrial end-users are currently discouraged from expanding their nanotechnology-related business activities by either unacceptably high costs or the impossibility to control production processes on a nanometric scale. DELILA will play a key role in realising the full potential of laser interference lithography as current nanofabrication tools are limited to archaic, slow processing rates, or do not achieve a competitive cost-effective strategy.
DELILA is driven by industrial needs to down-scale feature sizes to nano dimensions, lower fabrication costs and efficiently increase throughput, with the following industrial and scientific objectives:
(1)Fundamental exploration of multiple beam interference lithography and its capabilities;
(2)Development of computer software for the analysis of interference of several coherent beams of laser radiation and for the calculation of the results of diffraction of the radiation by periodic structures of different forms;
(3) Development of DELILA system.
The main outcome of the project will be a nano fabrication tool that has the potential to create a breakthrough in nanolithography technology for both 2D and 3D structuring of materials. It is the aim of DELILA to empower interference nanolithography technology with a clear focus on industrial use. The main advantageous features of the DELILA system in fabrication of nano structures and devices are high resolution (better than 40 nm) compared with other optical technologies, and low cost and high efficiency compared with other beam technologies.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- sciences naturelles informatique et science de l'information logiciel
- sciences naturelles sciences physiques optique physique des lasers
Vous devez vous identifier ou vous inscrire pour utiliser cette fonction
Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
CF24 0DE CARDIFF
Royaume-Uni
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.