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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
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Contenido archivado el 2024-05-29

Semiconductor equipment assessment for NanoElectronic technologies

Objetivo

Main objective of the IP "SEA-NET" is to validate emerging semiconductor manufacturing equipment for the 65nm - 22nm nodes, together with advances in equipment for cleaning/etch, handling, metrology/ analysis, modelling/APC and production control for Nanoelectronic CMOS.

SEA-NET will strengthen the European equipment industry in a sustainable way by combining advanced RandD with equipment sub-projects involving a wide community of equipment suppliers, users and research institutes. The selection of additional projects will be done in a "competitive call" starting after 12 months.

The equipment companies involved have a high proportion of SMEs who will benefit from their involvement with such organisations and the credibility that results.

Joint RandD including; advanced process control capabilities, enhanced wafer and equipment logistics, virtual equipment engineering compliance and control of communication interfaces. Applications will be evaluated for FEOL, BEOL that will improve equipment manufacturing and design criteria thus impacting equipment perfomance and time to maturity. All this will provide "progress beyond the current state-of-the-art" and lead to cost effective equipment development.

Each sub-project will be refined for the progressively emerging technology nodes. This will be done by optimizing the inputs from ITRS and the user requirements as identified within SEA-NET and will provide the benchmark for the assessment metrics.

A powerful and flexible management structure is identified for this IP, which has high numbers of; sub-projects, assessment sites, SME's and users from both, IC-industry and industrially oriented research institutions. The management is structured at the Integrated Project and Sub-Project level.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

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Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

Datos no disponibles

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

IP - Integrated Project

Coordinador

FRAUNHOFER IAF
Aportación de la UE
Sin datos
Dirección
Tullastr. 72
79108 MÜNCHEN
Alemania

Ver en el mapa
Enlaces
Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.
Sin datos

Participantes (26)

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Última actualización: 6 Septiembre 2024

Mi folleto

Permalink: https://cordis.europa.eu/project/id/027982/es

European Union, 2026

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