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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
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CORDIScovery podcast 50th episode CORDIScovery podcast 50th episode
Contenu archivé le 2024-05-29

Semiconductor equipment assessment for NanoElectronic technologies

Objectif

Main objective of the IP "SEA-NET" is to validate emerging semiconductor manufacturing equipment for the 65nm - 22nm nodes, together with advances in equipment for cleaning/etch, handling, metrology/ analysis, modelling/APC and production control for Nanoelectronic CMOS.

SEA-NET will strengthen the European equipment industry in a sustainable way by combining advanced RandD with equipment sub-projects involving a wide community of equipment suppliers, users and research institutes. The selection of additional projects will be done in a "competitive call" starting after 12 months.

The equipment companies involved have a high proportion of SMEs who will benefit from their involvement with such organisations and the credibility that results.

Joint RandD including; advanced process control capabilities, enhanced wafer and equipment logistics, virtual equipment engineering compliance and control of communication interfaces. Applications will be evaluated for FEOL, BEOL that will improve equipment manufacturing and design criteria thus impacting equipment perfomance and time to maturity. All this will provide "progress beyond the current state-of-the-art" and lead to cost effective equipment development.

Each sub-project will be refined for the progressively emerging technology nodes. This will be done by optimizing the inputs from ITRS and the user requirements as identified within SEA-NET and will provide the benchmark for the assessment metrics.

A powerful and flexible management structure is identified for this IP, which has high numbers of; sub-projects, assessment sites, SME's and users from both, IC-industry and industrially oriented research institutions. The management is structured at the Integrated Project and Sub-Project level.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

Données non disponibles

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

IP - Integrated Project

Coordinateur

FRAUNHOFER IAF
Contribution de l’UE
Aucune donnée
Adresse
Tullastr. 72
79108 MÜNCHEN
Allemagne

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Liens
Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
Aucune donnée

Participants (26)

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Dernière mise à jour: 6 Septembre 2024

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Permalink: https://cordis.europa.eu/project/id/027982/fr

European Union, 2026

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