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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
CORDIS
Inhalt archiviert am 2024-05-29

Semiconductor equipment assessment for NanoElectronic technologies

Ziel

Main objective of the IP "SEA-NET" is to validate emerging semiconductor manufacturing equipment for the 65nm - 22nm nodes, together with advances in equipment for cleaning/etch, handling, metrology/ analysis, modelling/APC and production control for Nanoelectronic CMOS.

SEA-NET will strengthen the European equipment industry in a sustainable way by combining advanced RandD with equipment sub-projects involving a wide community of equipment suppliers, users and research institutes. The selection of additional projects will be done in a "competitive call" starting after 12 months.

The equipment companies involved have a high proportion of SMEs who will benefit from their involvement with such organisations and the credibility that results.

Joint RandD including; advanced process control capabilities, enhanced wafer and equipment logistics, virtual equipment engineering compliance and control of communication interfaces. Applications will be evaluated for FEOL, BEOL that will improve equipment manufacturing and design criteria thus impacting equipment perfomance and time to maturity. All this will provide "progress beyond the current state-of-the-art" and lead to cost effective equipment development.

Each sub-project will be refined for the progressively emerging technology nodes. This will be done by optimizing the inputs from ITRS and the user requirements as identified within SEA-NET and will provide the benchmark for the assessment metrics.

A powerful and flexible management structure is identified for this IP, which has high numbers of; sub-projects, assessment sites, SME's and users from both, IC-industry and industrially oriented research institutions. The management is structured at the Integrated Project and Sub-Project level.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

IP - Integrated Project

Koordinator

FRAUNHOFER IAF
EU-Beitrag
Keine Daten
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (26)

Mein Booklet 0 0