Description du projet
Optimiser la fiabilité des systèmes micro-électromécaniques
Les dispositifs basés sur les systèmes micro-électromécaniques (MEMS) remplissent des fonctions essentielles de capteurs et d’actionneurs, et ont de nombreuses applications dans des domaines tels que la médecine, la biotechnologie, les communications et les transports. Toutefois, étant dépourvus de mécanismes permettant de détecter de manière autonome les dommages et de se protéger contre les chocs, les dispositifs MEMS 2,5D actuels ne répondent pas toujours au besoin de fiabilité. Financé par le Conseil européen de la recherche, le projet AMMicro entend concevoir, fabriquer et valider de nouvelles microarchitectures métalliques en 3D destinées à optimiser la fiabilité et la résilience des dispositifs MEMS. Pour ce faire, des techniques avancées de microfabrication seront utilisées pour construire des microréseaux métalliques en 3D ainsi que des capteurs/actionneurs MEMS métalliques dotés de fonctionnalités de détection des dommages et de résistance aux chocs. La validation sera réalisée en recourant à des plateformes d’essais micromécaniques/nanomécaniques in situ qui reproduisent les conditions difficiles de l’application.
Objectif
Current 2.5D microelectromechanical systems (MEMS) devices are disadvantaged by their distinctive unreliability. Lack of built-in damage sensing, impact protection mechanisms and the absence of application-relevant reliability tests, collectively mask the true potential of MEMS devices. AMMicro will address these limitations by designing and developing the building blocks essential for robust next-generation 3D MEMS devices. This will be done using a novel combination of cutting edge electrodeposition technique and advanced reliability testing protocols.
Localized electrodeposition in liquid (LEL) is an advanced micromanufacturing technology, capable of printing 3D metal micro-/nano-architectures. With recent developments in advanced reliability testing using micro/nanomechanical testing (MNT) platforms, application-relevant high dynamic conditions are possible, yet remain under-exploited.
AMMicro will break new ground by harnessing the combined potential of LEL and MNT. Multimetal microlattices will be fabricated with optimized position-specific chemical compositions to maximize specific impact energy absorption. Multiphase microlattices fabricated with dyed fluid encapsulations and pressure-release valves will enable novel self-damage sensing and impact-protection mechanisms. Full-metal 3D MEMS based load sensors will be fabricated and used for tensile testing of LEL printed nanowires. The enhanced reliability of these microarchitectures will be validated using application-relevant advanced mechanical testing.
AMMicro is a highly interdisciplinary project at the boundary of materials science, mechanical, electrical and manufacturing engineering. For the material science community, it will pave the way for breakthroughs in critical applications including catalysis, phononics, photonics, etc. Beyond materials science, it has the transformative potential to revolutionize several fields including drug delivery, microscale temperature sensors, etc.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: https://op.europa.eu/en/web/eu-vocabularies/euroscivoc.
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- ingénierie et technologiegénie électrique, génie électronique, génie de l’informationingénierie électroniquecapteurs
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Programme(s)
- HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC) Main Programme
Thème(s)
Appel à propositions
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HORIZON-ERC - HORIZON ERC GrantsInstitution d’accueil
40237 DUSSELDORF
Allemagne