Skip to main content
Weiter zur Homepage der Europäischen Kommission (öffnet in neuem Fenster)
Deutsch Deutsch
CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
CORDIS

Additive Micromanufacturing: Multimetal Multiphase Functional Architectures

Projektbeschreibung

Zuverlässigkeit von mikroelektromechanischen Systemen optimieren

Auf mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) basierende Bauelemente erfüllen wichtige Funktionen als Sensoren und Aktoren mit einer Vielzahl von Anwendungen in Bereichen wie Medizin, Biotechnologie, Kommunikation und Verkehr. Die Anforderungen an die Zuverlässigkeit werden von den derzeitigen 2,5D-MEMS-Bauteilen jedoch nicht immer erfüllt, da ihnen Mechanismen fehlen, um Schäden selbständig zu erkennen und sich gegen Stöße zu schützen. Das vom Europäischen Forschungsrat finanzierte Projekt AMMicro zielt darauf ab, neuartige 3D-Metall-Mikroarchitekturen zu entwickeln, herzustellen und zu validieren, die die Zuverlässigkeit und Widerstandsfähigkeit von MEMS-Bauteilen optimieren sollen. Dazu werden fortschrittliche Mikrofertigungsverfahren eingesetzt, um 3D-Metall-Mikrogitter und MEMS-Sensoren/Aktuatoren aus Metall zu konstruieren, die beschädigungssensitiv und stoßfest sind. Die Validierung wird mithilfe von mikromechanischen/nanomechanischen In-situ-Testplattformen durchgeführt, die anwendungsrelevante, raue Bedingungen simulieren.

Ziel

Current 2.5D microelectromechanical systems (MEMS) devices are disadvantaged by their distinctive unreliability. Lack of built-in damage sensing, impact protection mechanisms and the absence of application-relevant reliability tests, collectively mask the true potential of MEMS devices. AMMicro will address these limitations by designing and developing the building blocks essential for robust next-generation 3D MEMS devices. This will be done using a novel combination of cutting edge electrodeposition technique and advanced reliability testing protocols.
Localized electrodeposition in liquid (LEL) is an advanced micromanufacturing technology, capable of printing 3D metal micro-/nano-architectures. With recent developments in advanced reliability testing using micro/nanomechanical testing (MNT) platforms, application-relevant high dynamic conditions are possible, yet remain under-exploited.
AMMicro will break new ground by harnessing the combined potential of LEL and MNT. Multimetal microlattices will be fabricated with optimized position-specific chemical compositions to maximize specific impact energy absorption. Multiphase microlattices fabricated with dyed fluid encapsulations and pressure-release valves will enable novel self-damage sensing and impact-protection mechanisms. Full-metal 3D MEMS based load sensors will be fabricated and used for tensile testing of LEL printed nanowires. The enhanced reliability of these microarchitectures will be validated using application-relevant advanced mechanical testing.
AMMicro is a highly interdisciplinary project at the boundary of materials science, mechanical, electrical and manufacturing engineering. For the material science community, it will pave the way for breakthroughs in critical applications including catalysis, phononics, photonics, etc. Beyond materials science, it has the transformative potential to revolutionize several fields including drug delivery, microscale temperature sensors, etc.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: https://op.europa.eu/en/web/eu-vocabularies/euroscivoc.

Sie müssen sich anmelden oder registrieren, um diese Funktion zu nutzen

Programm/Programme

Finanzierungsplan

HORIZON-ERC -

Gastgebende Einrichtung

MAX-PLANCK-INSTITUT FUR NACHHALTIGEMATERIALIEN GMBH
Netto-EU-Beitrag
€ 1 498 356,00
Adresse
MAX PLANCK STRASSE 1
40237 DUSSELDORF
Deutschland

Auf der Karte ansehen

Region
Nordrhein-Westfalen Düsseldorf Düsseldorf, Kreisfreie Stadt
Aktivitätstyp
Forschungseinrichtungen
Links
Gesamtkosten
€ 1 498 356,00

Begünstigte (1)