Opis projektu
Optymalizacja niezawodności układów mikroelektromechanicznych
Urządzenia oparte na układach mikroelektromechanicznych (MEMS) pełnią kluczowe role jako czujniki i siłowniki o szerokim zakresie zastosowań w dziedzinach takich jak medycyna, biotechnologia, komunikacja i transport. Obecnie wykorzystywane układy MEMS wykonane w technologii 2.5D nie zawsze zapewniają jednak wystarczającą niezawodność ze względu na brak mechanizmów wykrywania uszkodzeń oraz ochrony przed uderzeniami. Finansowany przez Europejską Radę ds. Badań Naukowych projekt AMMicro ma na celu zaprojektowanie, wyprodukowanie i weryfikację nowych przestrzennych mikroarchitektur metalowych, które pozwolą na zwiększenie niezawodności i wytrzymałości urządzeń MEMS. Badacze zamierzają osiągnąć ten cel dzięki zastosowaniu zaawansowanych technik mikroprodukcji w celu uzyskania metalowych mikrorusztowań przestrzennych oraz metalowych czujników i siłowników MEMS wyposażonych w funkcje wykrywania uszkodzeń oraz odpornych na uderzenia. Zespół zweryfikuje nowe rozwiązania przy użyciu mikromechanicznych/nanomechanicznych platform testowych in situ, symulujących trudne warunki odpowiednie dla danego zastosowania.
Cel
Current 2.5D microelectromechanical systems (MEMS) devices are disadvantaged by their distinctive unreliability. Lack of built-in damage sensing, impact protection mechanisms and the absence of application-relevant reliability tests, collectively mask the true potential of MEMS devices. AMMicro will address these limitations by designing and developing the building blocks essential for robust next-generation 3D MEMS devices. This will be done using a novel combination of cutting edge electrodeposition technique and advanced reliability testing protocols.
Localized electrodeposition in liquid (LEL) is an advanced micromanufacturing technology, capable of printing 3D metal micro-/nano-architectures. With recent developments in advanced reliability testing using micro/nanomechanical testing (MNT) platforms, application-relevant high dynamic conditions are possible, yet remain under-exploited.
AMMicro will break new ground by harnessing the combined potential of LEL and MNT. Multimetal microlattices will be fabricated with optimized position-specific chemical compositions to maximize specific impact energy absorption. Multiphase microlattices fabricated with dyed fluid encapsulations and pressure-release valves will enable novel self-damage sensing and impact-protection mechanisms. Full-metal 3D MEMS based load sensors will be fabricated and used for tensile testing of LEL printed nanowires. The enhanced reliability of these microarchitectures will be validated using application-relevant advanced mechanical testing.
AMMicro is a highly interdisciplinary project at the boundary of materials science, mechanical, electrical and manufacturing engineering. For the material science community, it will pave the way for breakthroughs in critical applications including catalysis, phononics, photonics, etc. Beyond materials science, it has the transformative potential to revolutionize several fields including drug delivery, microscale temperature sensors, etc.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego.
- inżynieria i technologiainżynieria elektryczna, inżynieria elektroniczna, inżynieria informatycznainżynieria elektronicznaczujniki
- inżynieria i technologiainżynieria elektryczna, inżynieria elektroniczna, inżynieria informatycznaprzemysł elektrotechniczny
- nauki przyrodniczenauki chemicznekataliza
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
- HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC) Main Programme
Temat(-y)
System finansowania
HORIZON-ERC - HORIZON ERC GrantsInstytucja przyjmująca
40237 DUSSELDORF
Niemcy