Descripción del proyecto
Plasmas de conducción eficiente para dispositivos semiconductores avanzados
Las fuentes de luz ultravioleta extrema (EUV) desempeñan un papel crucial en la producción de los dispositivos semiconductores avanzados. Actualmente, estos dispositivos se basan en la litografía EUV, un proceso con una huella energética elevada debido en parte al uso de láseres de gas. Sustituirlas por otras de estado sólido más eficientes podría reducir significativamente la huella energética. Sin embargo, determinar las longitudes de onda y las «recetas» de plasma óptimas implica comprender una física compleja. Financiado por el Consejo Europeo de Investigación, el equipo del proyecto MOORELIGHT pretende profundizar en esta cuestión. Los investigadores aportarán los conocimientos que faltan para alimentar de forma eficiente y fiable las fuentes de luz EUV de próxima generación accionadas por láser de estado sólido. Los hallazgos del proyecto no sólo tendrán un impacto significativo en los campos científicos relacionados, sino que también allanarán el camino para alimentar de forma sostenible la futura tecnología de litografía EUV.
Objetivo
Advanced semiconductor devices are produced using extreme ultraviolet (EUV) light at just 13.5nm wavelength. This small wavelength enables patterning the smallest and smartest features on chips. The recent revolutionary introduction of EUV lithography (EUVL) was the culmination of several decades of collaborative work between industry and science a Project Apollo of the digital age. EUVL is powered by light that is produced in the interaction of high-energy CO2-gas laser pulses with molten tin microdroplets. The use of such lasers however leads to unsustainably low overall efficiency in converting electrical power to useful EUV light: delivering a watt of EUV power at the silicon wafer level currently has a megawatt footprint. Replacing gas lasers with much more efficient solid-state lasers will significantly reduce this footprint. It is currently however unclear what laser wavelength, and what plasma recipe should be used. This is because we lack understanding of the underlying complex physics.
MOORELIGHT will deliver the missing insight that is required to efficiently and reliably power next-generation solid-state-laser-driven EUV light sources. (1) We will obtain understanding of phase changes and fragmentation of laser-impacted liquid thin tin targets and develop capabilities for laser-tailoring targets. (2) We will use tailored targets to investigate how these couple to laser light of variable wavelength and spatiotemporal profile to produce hot-and-dense plasma. This will provide insight through experiments and modeling into the optimum plasma recipe for producing EUV light, in tandem with efforts (3) to advance predictive plasma modeling by finding the elusive, atomic origins of the EUV light. Individually, these objectives will significantly impact their related fields of science and technology. Combined, they will enable to sustainably power tomorrows EUVL, and help realize the EUs ambitions regarding its technological leadership in nanotechnology.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología nanotecnología
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metales de postransición
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metaloides
- ciencias naturales ciencias físicas óptica física del láser
Para utilizar esta función, debe iniciar sesión o registrarse
Le pedimos disculpas, pero se ha producido un error inesperado durante la ejecución.
Necesita estar autentificado. Puede que su sesión haya finalizado.
Gracias por su comentario. En breve recibirá un correo electrónico para confirmar el envío. Si ha seleccionado que se le notifique sobre el estado del informe, también se le contactará cuando el estado del informe cambie.
Palabras clave
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
-
HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC)
PROGRAMA PRINCIPAL
Ver todos los proyectos financiados en el marco de este programa
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
HORIZON-ERC - HORIZON ERC Grants
Ver todos los proyectos financiados en el marco de este régimen de financiación
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
(se abrirá en una nueva ventana) ERC-2022-COG
Ver todos los proyectos financiados en el marco de esta convocatoriaInstitución de acogida
Aportación financiera neta de la UE. Es la suma de dinero que recibe el participante, deducida la aportación de la UE a su tercero vinculado. Considera la distribución de la aportación financiera de la UE entre los beneficiarios directos del proyecto y otros tipos de participantes, como los terceros participantes.
3526 KV UTRECHT
Países Bajos
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.