Descrizione del progetto
Guidare in modo efficiente i plasmi per i dispositivi a semiconduttore avanzati
Le sorgenti di luce ultravioletta estrema (EUV) svolgono un ruolo cruciale nella produzione di dispositivi semiconduttori avanzati. Tali dispositivi si basano attualmente sulla litografia EUV (EUVL), un processo con un’elevata impronta energetica, in parte dovuta all’uso di laser a gas. La loro sostituzione con uno stato solido più efficiente può ridurre significativamente l’impronta energetica. Tuttavia la determinazione delle lunghezze d’onda e delle «ricette» di plasma ottimali richiede la comprensione di una fisica complessa. Il progetto MOORELIGHT, finanziato dal Consiglio europeo della ricerca, si propone di approfondire questo tema. I ricercatori forniranno le conoscenze mancanti necessarie per alimentare in modo efficiente e affidabile le sorgenti luminose EUV di prossima generazione con laser a stato solido. I risultati del progetto non solo avranno un impatto significativo sui campi scientifici correlati ma apriranno anche la strada all’alimentazione sostenibile della futura tecnologia EUVL.
Obiettivo
Advanced semiconductor devices are produced using extreme ultraviolet (EUV) light at just 13.5nm wavelength. This small wavelength enables patterning the smallest and smartest features on chips. The recent revolutionary introduction of EUV lithography (EUVL) was the culmination of several decades of collaborative work between industry and science a Project Apollo of the digital age. EUVL is powered by light that is produced in the interaction of high-energy CO2-gas laser pulses with molten tin microdroplets. The use of such lasers however leads to unsustainably low overall efficiency in converting electrical power to useful EUV light: delivering a watt of EUV power at the silicon wafer level currently has a megawatt footprint. Replacing gas lasers with much more efficient solid-state lasers will significantly reduce this footprint. It is currently however unclear what laser wavelength, and what plasma recipe should be used. This is because we lack understanding of the underlying complex physics.
MOORELIGHT will deliver the missing insight that is required to efficiently and reliably power next-generation solid-state-laser-driven EUV light sources. (1) We will obtain understanding of phase changes and fragmentation of laser-impacted liquid thin tin targets and develop capabilities for laser-tailoring targets. (2) We will use tailored targets to investigate how these couple to laser light of variable wavelength and spatiotemporal profile to produce hot-and-dense plasma. This will provide insight through experiments and modeling into the optimum plasma recipe for producing EUV light, in tandem with efforts (3) to advance predictive plasma modeling by finding the elusive, atomic origins of the EUV light. Individually, these objectives will significantly impact their related fields of science and technology. Combined, they will enable to sustainably power tomorrows EUVL, and help realize the EUs ambitions regarding its technological leadership in nanotechnology.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- ingegneria e tecnologia nanotecnologia
- scienze naturali scienze chimiche chimica inorganica metalli di post-transizione
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
- scienze naturali scienze chimiche chimica inorganica metalloidi
- scienze naturali scienze fisiche ottica fisica dei laser
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Parole chiave
Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).
Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).
Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
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HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC)
PROGRAMMA PRINCIPALE
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Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
HORIZON-ERC - HORIZON ERC Grants
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Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
(si apre in una nuova finestra) ERC-2022-COG
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Contributo finanziario netto dell’UE. La somma di denaro che il partecipante riceve, decurtata dal contributo dell’UE alla terza parte collegata. Tiene conto della distribuzione del contributo finanziario dell’UE tra i beneficiari diretti del progetto e altri tipi di partecipanti, come i partecipanti terzi.
3526 KV UTRECHT
Paesi Bassi
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.