Opis projektu
Efektywne napędzanie plazmy na potrzeby zaawansowanych urządzeń półprzewodnikowych
Źródła skrajnego promieniowania ultrafioletowego (EUV) odgrywają kluczową rolę w produkcji zaawansowanych urządzeń półprzewodnikowych. Do wytwarzania tych urządzeń stosuje się obecnie litografię EUV (EUVL), która jest procesem wysoce energochłonnym, częściowo ze względu na wykorzystanie laserów gazowych. Zastąpienie ich bardziej sprawnymi urządzeniami na ciele stałym może znacznie zmniejszyć zużycie energii. Jednak określenie optymalnych długości fal i „receptur” plazmy wymaga zrozumienia złożonych mechanizmów fizycznych. Zbadania tej problematyki podjął się zespół projektu MOORELIGHT, finansowanego przez Europejską Radę ds. Badań Naukowych. Naukowcy zbiorą informacje, które są niezbędne do wydajnego i niezawodnego zasilania źródeł światła EUV nowej generacji opartych na laserach na ciele stałym. Wyniki projektu będą miały znaczący wpływ na pokrewne dziedziny nauki, a także utorują drogę do zrównoważonego zasilania przyszłych EUVL.
Cel
Advanced semiconductor devices are produced using extreme ultraviolet (EUV) light at just 13.5nm wavelength. This small wavelength enables patterning the smallest and smartest features on chips. The recent revolutionary introduction of EUV lithography (EUVL) was the culmination of several decades of collaborative work between industry and science a Project Apollo of the digital age. EUVL is powered by light that is produced in the interaction of high-energy CO2-gas laser pulses with molten tin microdroplets. The use of such lasers however leads to unsustainably low overall efficiency in converting electrical power to useful EUV light: delivering a watt of EUV power at the silicon wafer level currently has a megawatt footprint. Replacing gas lasers with much more efficient solid-state lasers will significantly reduce this footprint. It is currently however unclear what laser wavelength, and what plasma recipe should be used. This is because we lack understanding of the underlying complex physics.
MOORELIGHT will deliver the missing insight that is required to efficiently and reliably power next-generation solid-state-laser-driven EUV light sources. (1) We will obtain understanding of phase changes and fragmentation of laser-impacted liquid thin tin targets and develop capabilities for laser-tailoring targets. (2) We will use tailored targets to investigate how these couple to laser light of variable wavelength and spatiotemporal profile to produce hot-and-dense plasma. This will provide insight through experiments and modeling into the optimum plasma recipe for producing EUV light, in tandem with efforts (3) to advance predictive plasma modeling by finding the elusive, atomic origins of the EUV light. Individually, these objectives will significantly impact their related fields of science and technology. Combined, they will enable to sustainably power tomorrows EUVL, and help realize the EUs ambitions regarding its technological leadership in nanotechnology.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- inżynieria i technologia nanotechnologia
- nauki przyrodnicze nauki chemiczne chemia nieorganiczna metale nieszlachetne
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne elektromagnetyzm i elektronika urządzenie półprzewodnikowe
- nauki przyrodnicze nauki chemiczne chemia nieorganiczna metaloidy
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne optyka fizyka laserów
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Przepraszamy… podczas wykonywania operacji wystąpił nieoczekiwany błąd.
Wymagane uwierzytelnienie. Powodem może być wygaśnięcie sesji.
Dziękujemy za przesłanie opinii. Wkrótce otrzymasz wiadomość e-mail z potwierdzeniem zgłoszenia. W przypadku wybrania opcji otrzymywania powiadomień o statusie zgłoszenia, skontaktujemy się również gdy status ulegnie zmianie.
Słowa kluczowe
Słowa kluczowe dotyczące projektu wybrane przez koordynatora projektu. Nie należy mylić ich z pojęciami z taksonomii EuroSciVoc dotyczącymi dziedzin nauki.
Słowa kluczowe dotyczące projektu wybrane przez koordynatora projektu. Nie należy mylić ich z pojęciami z taksonomii EuroSciVoc dotyczącymi dziedzin nauki.
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
-
HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC)
GŁÓWNY PROGRAM
Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
HORIZON-ERC - HORIZON ERC Grants
Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu finansowania
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
(odnośnik otworzy się w nowym oknie) ERC-2022-COG
Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego zaproszeniaInstytucja przyjmująca
Kwota netto dofinansowania ze środków Unii Europejskiej. Suma środków otrzymanych przez uczestnika, pomniejszona o kwotę unijnego dofinansowania przekazanego powiązanym podmiotom zewnętrznym. Uwzględnia podział unijnego dofinansowania pomiędzy bezpośrednich beneficjentów projektu i pozostałych uczestników, w tym podmioty zewnętrzne.
3526 KV UTRECHT
Niderlandy
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.