Descripción del proyecto
Instrumento compacto de metrología de rayos X avanzada
La demanda de dispositivos semiconductores, electrónica de bajo consumo, vehículos eléctricos, sensores e internet de las cosas ha impulsado el desarrollo de nuevos materiales de película fina. Los científicos emplean rayos X para estudiar sus propiedades cristalinas y establecer correlaciones con sus características electrónicas. Recientemente, Sirius X-ray Solutions ha presentado XRS SEMI, un instrumento de metrología de rayos X compacto y avanzado que incorpora una óptica de rayos X de nuevo desarrollo y un detector de última generación. El equipo del proyecto Next Gen XRM, financiado con fondos europeos, utilizará XRS SEMI para evaluar la estructura cristalina de unos materiales de película fina. Como parte del programa WomenTechEU, Sirius X-ray Solutions finalizará e integrará en la plataforma Sirius XRS un conjunto de herramientas de «software» basadas en el aprendizaje automático y la simulación de modelos teóricos para mejorar su rendimiento analítico.
Objetivo
Due to increased demand for semiconductor devices, low-power electronics, electric vehicles, sensors, IoT (Internet of things), new complex thin film materials are constantly engineered by sophisticated MBE (molecular beam epitaxy), PVD (physical vapour deposition) or ALD (atomic layer deposition). X-rays are well suited to assess the crystalline structure of new thin film materials due to the intrinsic properties of X-rays to probe material on the sub-nanometer scale. These crystal properties (film thickness, composition, strain, stress, interdiffusion and epitaxial relation) are then correlated to the electronic properties.
Sirius X-ray Solutions is an innovative German SME with the mission to develop and manufacture high-performance customised X-ray instrumentation for semiconductor and material characterisation applications.
After years of R&D, it has developed XRS SEMI, a compact (1m x 1m) advanced X-ray metrology instrument, which combines a newly developed X-ray optic, state-of-the-art detector, fast control software and fast, accurate data analysis software. XRS SEMI is used to assess the crystalline structure of new thin film materials due to the intrinsic properties of X-rays to probe material on the sub-nanometer scale. XRS SEMI has been sold and validated to prestigious research institutions and innovative SMEs such as the Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, the University of Leuven, Lumiphase AG and Soitec. The X-ray metrology instrument, developed by SIRIUS, can measure at least 10 times faster than the competition, with a selling price 2 times lower. It addresses the growing niche market (200mm wafers) within the semiconductor market of X-ray metrology for MEMS, photonics and sensors.
Within the WomenTechEU programme Sirius X-ray Solutions will finalise and integrate the software toolbox, based on machine learning and theoretical models' simulation, into the Sirius XRS platform to optimise the software's analytical performance.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural.
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural.
- ciencias naturalesinformática y ciencias de la informacióninternetinternet de las cosas
- ciencias naturalesinformática y ciencias de la informaciónsoftware
- ingeniería y tecnologíaingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la informacióningeniería electrónicasensores
- ciencias naturalesciencias físicaselectromagnetismo y electrónicadispositivo semiconductor
Para utilizar esta función, debe iniciar sesión o registrarse
Palabras clave
Programa(s)
- HORIZON.3.2 - European innovation ecosystems Main Programme
Convocatoria de propuestas
Consulte otros proyectos de esta convocatoriaRégimen de financiación
HORIZON-CSA - HORIZON Coordination and Support ActionsCoordinador
73230 Kirchheim Unter Teck
Alemania