Descrizione del progetto
Strumento compatto di metrologia avanzata a raggi X
La domanda di dispositivi semiconduttori, di elettronica a bassa potenza, di veicoli elettrici, di sensori e di internet delle cose ha spinto lo sviluppo di nuovi materiali a film sottile. Gli scienziati utilizzano i raggi X, studiando le proprietà cristalline di questi materiali e stabilendo correlazioni con le loro caratteristiche elettroniche. Recentemente, Sirius X-ray Solutions ha presentato XRS SEMI, uno strumento di metrologia a raggi X compatto e avanzato, dotato di un’ottica a raggi X di nuova concezione e di un rivelatore all’avanguardia. Il progetto Next Gen XRM, finanziato dall’UE, utilizzerà XRS SEMI per valutare la struttura cristallina dei materiali a film sottile. Nell’ambito del programma WomenTechEU, Sirius X-ray Solutions metterà a punto e integrerà nella piattaforma Sirius XRS una serie di strumenti software basati sull’apprendimento automatico e sulla simulazione di modelli teorici per migliorare le prestazioni analitiche.
Obiettivo
Due to increased demand for semiconductor devices, low-power electronics, electric vehicles, sensors, IoT (Internet of things), new complex thin film materials are constantly engineered by sophisticated MBE (molecular beam epitaxy), PVD (physical vapour deposition) or ALD (atomic layer deposition). X-rays are well suited to assess the crystalline structure of new thin film materials due to the intrinsic properties of X-rays to probe material on the sub-nanometer scale. These crystal properties (film thickness, composition, strain, stress, interdiffusion and epitaxial relation) are then correlated to the electronic properties.
Sirius X-ray Solutions is an innovative German SME with the mission to develop and manufacture high-performance customised X-ray instrumentation for semiconductor and material characterisation applications.
After years of R&D, it has developed XRS SEMI, a compact (1m x 1m) advanced X-ray metrology instrument, which combines a newly developed X-ray optic, state-of-the-art detector, fast control software and fast, accurate data analysis software. XRS SEMI is used to assess the crystalline structure of new thin film materials due to the intrinsic properties of X-rays to probe material on the sub-nanometer scale. XRS SEMI has been sold and validated to prestigious research institutions and innovative SMEs such as the Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, the University of Leuven, Lumiphase AG and Soitec. The X-ray metrology instrument, developed by SIRIUS, can measure at least 10 times faster than the competition, with a selling price 2 times lower. It addresses the growing niche market (200mm wafers) within the semiconductor market of X-ray metrology for MEMS, photonics and sensors.
Within the WomenTechEU programme Sirius X-ray Solutions will finalise and integrate the software toolbox, based on machine learning and theoretical models' simulation, into the Sirius XRS platform to optimise the software's analytical performance.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- scienze naturali informatica e scienze dell'informazione internet internet degli oggetti
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Parole chiave
Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).
Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).
Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
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HORIZON.3.2 - European innovation ecosystems
PROGRAMMA PRINCIPALE
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Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
HORIZON-CSA - HORIZON Coordination and Support Actions
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Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
(si apre in una nuova finestra) HORIZON-EIE-2022-SCALEUP-02
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Contributo finanziario netto dell’UE. La somma di denaro che il partecipante riceve, decurtata dal contributo dell’UE alla terza parte collegata. Tiene conto della distribuzione del contributo finanziario dell’UE tra i beneficiari diretti del progetto e altri tipi di partecipanti, come i partecipanti terzi.
73230 Kirchheim Unter Teck
Germania
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.